ページの本文へ

Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

  • ウェーハ最外周部において、測長SEMで計測できる領域を拡大
  • 不安定なプロセスの管理歩留まりの維持・向上に貢献

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • ウェーハの最外周部において、測長SEMで計測可能な領域を拡大させることができるウェーハホルダです。
  • 最外周部チップの歩留まりの維持・向上に貢献します。
  • ソフトウェアのバージョンアップなどは不要です。基本的なご使用環境を維持しつつ、搭載が可能です。

対象装置

  • S-9380/S-9380Ⅱ

ご相談・お問い合わせ先

株式会社 日立ハイテクフィールディング お客様サポートセンタ

電話でのお問い合わせは、お客様サポートセンタ(フリーコール)までお願いいたします。

フリーコール

0120-203-813(24時間受付)

FAX :03-5379-1685

関連製品