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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 ISシリーズ

高感度検出と高スループット検査による高速製品モニタリングを実現

歩留まり向上と生産コスト削減に貢献する次世代 対応暗視野式ウェーハ欠陥検査装置

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

高感度検出と高スループット検査を両立

  • 暗視野式イメージング方式により、高感度、高速モニタリングを実現。

マルチモード検査機能搭載により検出能力向上

  • Killer工程での高感度検査とモニタリング工程での高スループット検査などに切り替え可能。検査可能な工程が拡大。

ユーザフレンドリな操作性

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