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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 ISシリーズ

量産ラインでは,製品ウェーハを高頻度に検査をすることで,検出したい欠陥(DOI:Defect of Interest)を見逃さない高速モニタリングが重視されます。パターン付きウェーハ欠陥検査装置ISシリーズは、プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。200mmおよび300 mmウェーハの高感度・高速検査に加え、レシピ作成などユーザーフレンドリーな操作性により、パターン付きウェーハ検査工程の検査・管理コストの最適化に貢献致します。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

高感度検出と高スループット検査を両立

  • 暗視野式イメージング方式により、高感度、高速モニタリングを実現。

マルチモード検査機能搭載により検出能力向上

  • Killer工程での高感度検査とモニタリング工程での高スループット検査などに切り替え可能。検査可能な工程が拡大。

ユーザフレンドリな操作性

  • シンプルなパラメータ設定によるレシピ作成。

仕様

仕様
ウェーハサイズ φ200mm/300mm

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