ページの本文へ

Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

日立ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ

パターンなしウェーハ上の微小異物・欠陥を高感度に検出する次世代対応ウェーハ表面検査装置

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

次世代プロセスに対応する高検出感度を実現

  • 日立独自の検出光学系により、微小異物、各種欠陥の検出が可能

多彩な装置ラインナップ、R&Dから量産ラインまで対応

  • デバイスメーカ、装置・材料メーカ:
    ウェーハ裏面吸着タイプでのモニタリング各種評価に対応
  • ウェーハメーカ:
    エッジグリップ方式ハンドリングタイプでのウェーハ出荷検に対応。ウェーハ反転裏面測定可

高精度リアルタイム欠陥分離検出

関連製品