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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

RecipeDirector

RecipeDirector:ウェーハと測長SEMを使用せず、測定レシピをオフラインで作成が可能です。
DesignGauge-Analyzer:CD-SEM取得したSEM画像の再測長が可能です。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

「RecipeDirector」特長

生産性向上とレシピ品質の向上

  • ウェーハと測長SEMを使用せず、測定レシピをオフラインで作成が可能
  • 計測点と測長方法を指定するだけで、自動でレシピ作成が可能
  • オペレータスキルによらない均質なレシピ作成が可能
  • サーバ&クライアント方式を採用


設計データを活用した測長SEM測定レシピ自動作成

 

「DesignGauge-Analyzer」特長

  • CG5000で取得したSEM画像の再測長
  • SEM画像閲覧およびシート形式による測長結果確認等のデータ解析機能を搭載
  • 測長アルゴリズムを用いたContour(パターン形状の輪郭線)抽出機能(Contour:オプション)


リソグラフィー工程のOPC評価、パターン計測最適化支援

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