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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

欠陥レビューSEM RS6000シリーズ(Defect Review SEM)

高速ADR、高精度ADCにより、歩留まり改善に貢献するインライン対応多目的欠陥レビューSEM

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • 高画質・高コントラスト・高分解能SEM画像
  • 高スループット欠陥検出(ADR
  • ユーザーフレンドリーなGUI
<オプション>
  • 自動欠陥分類(ADC
  • ベアウェーハ自動レビュー
  • システマティック欠陥分類機能

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