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日立ハイテク
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ターミナルPCソフトウェア

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測長SEMの稼動率向上を支援するソフトウェアです。

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

特長

  • 測長/画像ファイルをネットワーク経由でPCに転送、オフラインでの解析や再測長が可能です。
  • 測長SEMの有効活用、稼動率向上に貢献します。

主な機能およびソフトウェア構成

本ソフトウェアにはフルパッケージとライトパッケージがあります。

 構成機能フルライト
1 転送ソフトウェア 測定結果(画像データ、測長ファイルなど)の転送
2 レシピ評価ソフトウェア レシピ毎の稼動情報やエラー情報をExcel®で表示
3 レシピビューアソフトウェア レシピ情報をExcelで一括表示
4 データ処理ソフトウェア 測定結果をExcelでグラフ表示
5 オフライン測長ソフトウェア ターミナルPC上で再測定可能
6 レシピ転送ソフトウェア レシピを他の装置に転送 オプション オプション

* Excelは、米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。

対象装置

日立ハイテク製CD-SEM(詳細はお問い合わせください)

ご相談・お問い合わせ先

株式会社 日立ハイテクフィールディング お客様サポートセンタ

電話でのお問い合わせは、お客様サポートセンタ(フリーコール)までお願いいたします。

フリーコール0120-203-813(24時間受付)

FAX :03-5379-1685

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