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フォトレジスト等のパターンをマスクとして配線等をエッチングして作製します。
エッチング工程後、不要となったフォトレジストは、オゾンやプラズマで灰化(Ashing)して除去/剥離します。この後、CD-SEMで寸法計測を行います。

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