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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

日立ハイテクが長年蓄積した電界放出形走査電子顕微鏡に関する測定手法、測定例の一部をご紹介いたします。
以下のリストのデータをはじめとした、さまざまなアプリケーションデータは、弊社会員制情報検索サイト「S.I.navi(エスアイナビ)」でご提供しています。

  • :「S.I.navi」内の日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」でご提供しています。「S.I.navi」サイトで、ご使用製品に日立電子顕微鏡をご登録いただくと、「Semevolution」の閲覧が可能になります。
Data No. タイトル
SEM155
  • 使用装置:   イオンミリング装置 IM4000
  •         低真空分析走査電子顕微鏡 SU6600
  • キーワード:ネオジム磁石、機械研磨、Arイオンミリング、断面ミリング法、平面ミリング法、SEM、反射電子像、EDXマッピング
SEM151
SEM148
SEM147
  • 使用装置:   SEM全般
  • キーワード:FE-SEM、EDX、雰囲気遮断システム、リチウムイオン電池、正極材、負極材、セパレータ、リターディング
SEM146
  • 使用装置:   SEM全般
  • キーワード:イオン液体、走査電子顕微鏡、絶縁体、微生物、酵母、Helicobacter bilis
SEM143
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU8000
  • キーワード:FE-SEM、超高分解能SEM、リターディング、Top検出器、Upper検出器、電位コントラスト、表面電位、微小ステップ、ポリシリコン、ペンタセン、SAM
SEM141
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU8000
  • キーワード:走査電子顕微鏡、高分解能観察、Top検出器、高角度散乱反射電子、HA-BSE、結晶コントラスト、組成コントラスト、低角度散乱反射電子、LA-BSE、二次電子、MuGFET
SEM138
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5500
  • キーワード:SEM、STEM、Duo-STEM検出器、検出立体核、ナノ材料、Pt/Ru担持カーボン、カーボンナノチューブ、組成コントラスト、回折コントラスト、触媒
SEM137
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5500
  • キーワード:SEM、STEM、Duo-STEM検出器、検出立体核、半導体、Cu配線、SRAM、組成コントラスト
SEM135
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4800
  • キーワード:メソポーラスシリカ、高分解能観察、リターディング法、スキャン方法
SEM134
SEM129
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4800
  • キーワード:高分解能SEM、リターディング機能、低加速電圧観察、極低加速電圧
SEM128
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4800
  •         集束イオンビーム加工装置 FB-2100
  • キーワード:FE-SEM、明視野STEM像、暗視野STEM像、薄膜試料
SEM127
ユーザー限定
  • 使用装置:   I-5320形SEM式ウェーハ検査装置
  •         集束イオンビーム加工装置 FB-2100
  •         超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5200
  • キーワード:SEM式ウェーハ検査装置、FIB、STEM、電位コントラスト、マイクロサンプリング、共用ホルダー、プラグ血管、オープン不良、リーク不良
SEM121
ユーザー限定
  • 使用装置:   走査電子顕微鏡 S-3000N
  •         走査電子顕微鏡 S-3500N
  •         電界放出形走査電子顕微鏡 S-4300SE/N
  • キーワード:ナチュラルSEM、機能性フィルム、低真空二次電子検出器(ESED)、低真空二次電子像、低真空反射電子像
SEM117
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5200
  • キーワード:低加速電圧STEM像、FIB加工、EDX分析、SEM像、高分子材料
SEM116
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5200
  • キーワード:低加速電圧STEM法、元素マッピング、ヒト皮膚、ヒト腎臓、、アデノウィルス
SEM114
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4300SE
  • キーワード:ショットキー電子銃、大プローブ電流、高ビーム電流安定、高分解能、CL、EBSP
SEM113
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5200
  •         集束イオンビーム加工装置 FB-2000A
  • キーワード:STEM、明視野像、暗視野像、半導体デバイス評価
SEM111
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5200
  • キーワード:超高分解能SEM、シグナル可変モード、低加速反射電子モード
SEM109
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4700
  • キーワード:高分解能クライオSEM、クライオシステム、低加速電圧、エタノール置換
SEM107
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4700
  • キーワード:ExB、Upper検出器、二次電子、反射電子
SEM103
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4700
  •         集束イオンビーム加工装置 FB-2000A
  • キーワード:FE-SEM、FIB、EDX、薄膜化、BOX加工、高分解能分析、三次元、立体構築
SEM100
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4700
  •         集束イオンビーム加工装置 FB-2000A
  • キーワード:高分解能SEM、PC-SEM、BSE像、STEM像、EDX分析
SEM098
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5000
  • キーワード:リポソーム、高分解能観察、クライオトランスファー法、急速凍結、クライオミクロトーム
SEM097
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5000
  •         集束イオンビーム加工装置 FB-2000A
  • キーワード:高分解能SEM、半導体デバイス評価、HSG構造、高精度寸法計測、集束イオンビーム
SEM095
ユーザー限定
  • 使用装置:   SEM全般
  • キーワード:高精度寸法測定、標準試料、寸法校正、レーザ干渉露光、異方性エッチング
SEM094
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5000
  • キーワード:半導体デバイス、立体構築、任意断面観察
SEM086
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5000
  • キーワード:高分解能SEM、In-Lens FESEM、ダイレクトヒーティングホルダー、試料加熱
SEM085
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4500
  • キーワード:高感度YAG反射電子検出器、反射電子、組成コントラスト、平均原子番号、S/N比
SEM081
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4200
  •         電界放出形走査電子顕微鏡 S-4500
  • キーワード:クライオ法、クライオシステム、EDX分析、N-SEM、クールステージ
SEM078
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4500
  • キーワード:Snorkel形対物レンズ、二次電子検出器、反射電子
SEM077
ユーザー限定
  • 使用装置:   SEM全般
  • キーワード:-
SEM076
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4200
  • キーワード:低収差ハイパーレンズ、電磁ビームアライメント、電磁アパーチャアライメント、X線検出器専用ポート
SEM074
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4500
  • キーワード:高分解能クライオSEM、クライオシステム、低加速電圧、エタノール置換
SEM073
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4100
  • キーワード:EBIC像、PN半導体、拡散層、TTL、IC、ブレークダウン現象
SEM072
ユーザー限定
  • 使用装置:   超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5000
  • キーワード:高分解能SEM、反射電子像、免疫SEM法、カラー合成画像、コロイド金
SEM071
ユーザー限定
  • 使用装置:   電界放出形走査電子顕微鏡 S-4100
  •         RD-500形三次元形状解析装置
  • キーワード:三次元測定、2次電子像コントラスト、鳥瞰図