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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

走査型白色干渉顕微鏡(CSI)

走査型白色干渉顕微鏡(CSI)は、光の干渉現象を利用した非接触・非破壊の表面形状計測装置です。光の干渉スケールを用いることで、高さ分解能 0.01 nmを維持したまま広い視野領域の計測を実現しています。VS1000シリーズでは、透明積層体の光学界面から得られる干渉ピークを高さ検出することにより、表面形状計測に加え多層膜の層構造および層内部の異物計測が可能です。

製品情報

卓上・小型タイプから自動ステージ搭載可能な中型まで幅広い装置ラインアップと目的に応じた測定をサポートするオプション郡を取り揃えています。

製品ユーザー向け情報

当社の走査型白色干渉顕微鏡(CSI)をお使いのお客様向けの情報です。

保守・サービス

走査型プローブ顕微鏡に関する保守・サービス情報をまとめています。

会員制サイト

当社装置をお使いのユーザー様向けに、アプリケーションデータをはじめ各種情報をご提供しています。

生産終了製品のご案内

生産を終了した製品一覧と、消耗品・修理部品の保有期限の一覧です。

テクニカルサポート

走査型白色干渉顕微鏡に関連する最新情報をご提供しています。

走査型白色干渉顕微鏡 原理解説

「光干渉法」から各種計測モードまで、走査型白色干渉顕微鏡について解説します。

走査型白色干渉顕微鏡データギャラリー

走査型白色干渉顕微鏡による観測事例を分野別にギャラリー形式でご覧いただけます。

フィルム業界 最新測定技術のご紹介

従来の測定器では困難であったフィルム業界向けの最新測定技術をご紹介しています。