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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

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図中の倍率は操作画面での表示倍率です。
試料名 携帯電話部品(CCD)
観察内容 FIBで作製した断面は、比較的平滑ですが、作製後の断面に意図的にビームを照射することで、材料の硬軟の違いにより構造を浮き出させることが可能です。この例では、断面にFIB照射し、さらに斜め方向から観察することでカラーフィルターやインナーレンズなどが顕在化しています。