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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

ナノアート

モダンピラミッド

©(株)日立サイエンスシステムズ 中田佳範、大石喜久
©(株)日立製作所 計測器事業部 戸所秀男

世界遺産ギザのピラミッド。遠くにはラクダ(?)の姿も見られます。
このピラミッドは、LSIの製造に欠かせないSi基板を異方性エッチングしたもので、結晶方位(111)面により形成されています。古代ピラミッド建築の精巧さを凌ぐ現代のLSIも、この基板に支えられて成り立っています。

1999年(第55回)日本電子顕微鏡学会
写真コンクール 出展作品

撮影条件

  • 試料:Si(100)基板
  • 測定装置:電界放出形走査電子顕微鏡 S-4300
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: 作成者の所属情報は作成当時の情報です。
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: この作品は日本顕微鏡学会主催、「写真コンクール」に出展された作品です。
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