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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

ナノアート

幻花

©(株)日立サイエンスシステムズ 黒田靖、今野充、矢口紀恵
©(株)日立ハイテクノロジーズ 橋本隆仁、大西毅

闇の中に一際目立った輝きを放つ美しい花。実はSiO2中に成長したSiの結晶です。試料は、FIBマイクロサンプリング法で作製しました。試料厚さは約1µmですが、加速電圧200 kVのCold FE-STEMでの明視野STEM像観察機能を用いると、立体的な結晶構造を鮮明に再現することが出来ます。

2003年(第59回)日本顕微鏡学会
写真コンクール 金賞受賞作品

撮影条件

  • 試料:Poly-Si/SiO2
  • 測定装置:超薄膜評価装置 HD-2000
  • 撮影倍率:10,000倍
  • 加速電圧:200 kV
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: 作成者の所属情報は作成当時の情報です。
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: この作品は日本顕微鏡学会主催、「写真コンクール」に出展された作品です。
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: 「nanoart」は(株)日立ハイテクノロジーズの日本国内における登録商標です。