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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

ナノアート

Micro Diamond Ring

©(株)日立サイエンスシステムズ 黒田靖、矢口紀恵、上野武夫
©(株)日立ハイテクノロジーズ 大西毅

写真は集束イオンビーム(FIB)加工技術を用いて製作した世界最小のダイヤモンドリングです。使用したダイヤモンド原石の大きさは直径が100分の1 mm、仕上がったダイヤモンドは10億分の5カラットです。リングには直径約20µmの硬くて丈夫なタングステンを用いました。
ダイヤモンドリング写真の周辺に加工手順を添付しました。タングステン線からの材料の切り出し、リング加工、リングへのダイヤモンド原石の取り付けとその仕上げ加工まで、すべて一台のFIB加工装置の中で行ないました。
もともと半導体デバイスの修復や評価用に開発されたFIB加工技術ですが、マイクロマニピュレーション技術の発達により、このような微細加工も出来るようになりました。

2004年(第60回)日本顕微鏡学会(8APEM)
写真コンクール 金賞受賞作品

撮影条件

  • 加工装置:集束イオンビーム加工観察装置 FB-2100
  • 撮影倍率:700倍(1)、1,200倍(2~12)、3,000倍(13~19)
  • 加速電圧:40 kV
  • 測定装置:超薄膜評価装置 HD-2300
  • 撮影倍率:2,000倍(20)
  • 加速電圧:200 kV
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: 作成者の所属情報は作成当時の情報です。
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: この作品は日本顕微鏡学会(8APEM)主催、「写真コンクール」に出展された作品です。
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: 「nanoart」は(株)日立ハイテクノロジーズの日本国内における登録商標です。