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Hitachi

技術機関誌 SI NEWS日立ハイテクノロジーズ

FIBとSEMを直角に配置した三次元解析用加工観察装置です。FIB-SEM、各検出系の最適配置により、高分解能三次元マルチ解析を行うことが出来ます。

主な特長

  1. 新型FIB及び新型SEM鏡筒の搭載により、高速高細密加工と高分解能観察が可能です。
  2. マルチCut&See機能により、加工断面内複数個所の観察像を連続自動取得することができ、広視野解析と高分解能解析を両立できます。
  3. 日立製TEM用多軸・環境型ホルダが搭載でき、装置間リンケージや様々な試料への対応が可能です。
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L-Shape®は株式会社日立ハイテクサイエンスの日本での登録商標です。

NX9000 装置配置図

マルチCut&See機能による生体試料の三次元観察期
マルチCut&See機能による生体試料の三次元観察期

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