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Hitachi

技術機関誌 SI NEWS日立ハイテクノロジーズ

TOF-SIMS法はきわめて高感度な表面分析手法として多くの産業分野・研究開発用途で活用されています。
固体表面微小領域、薄膜や界面における元素・分子に関する詳細な情報を得る事が可能です。近年では最新のイオン銃による有機物3次元解析等高度な測定を実現する数々のオプションも充実し最高のパフォーマンスを提供いたします。

主な特長

  • 最新のクラスタイオンソースにより超高感度・高スループットを実現
  • モジュラー構造により多彩なアップグレードに柔軟に対応
  • 操作性とデータ処理機能を強化した最新ソフトウェア SurfaceLab6

飛行時間型2次イオン質量分析装置