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技術機関誌 SI NEWS日立ハイテクノロジーズ

走査型白色干渉顕微鏡「VS1000シリーズ」(4機種)は、微小粗さ、形状および膜厚の三次元測定を非接触・非破壊で行うことができる表面観察装置である。光干渉方式の採用により広い観察範囲(最大7.1 mm×5.3 mm)でも高いZ分解能(0.01 nm)を有し、三次元(面+高さ)の微小な粗さおよび形状を数秒~ 10秒程度で非接触に計測することが可能である。また、透明多層構造フィルムの膜厚測定が可能で、層の界面や内部にある異物、はがれなどの情報も確認できるという特長を持つ。

VS1330装置イメージとデータ例

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