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Hitachi

卓上顕微鏡 TM3030Plus/TM3030日立ハイテクノロジーズ

卓上顕微鏡「Miniscope®」は、卓上におけるコンパクトサイズで、100 V電源で動作し、初心者の方でも簡単に操作できる走査電子顕微鏡です。
試料を前処理なしで光学顕微鏡を超える最大60,000倍という高倍率ですばやく観察や元素の分析ができます。
国内・海外でさまざまな分野の方にご利用いただいており、累計受注台数は3,000台(2015年6月末時点)を超えました。

使用者を選ばない操作性

電子顕微鏡初心者の方でも簡単に操作できるユーザーインターフェースです。

インターフェースのイメージ

コンパクトデジタルカメラをモチーフとしてデザインしています。
マウスドラッグで直観的な操作が可能で、オートスタート、オート輝度、オートフォーカスなどのオート機能で簡単に撮影できます。

観察の手順はいたって簡単。オートスタート機能により、「スタート」ボタンをクリックするだけで「明るさ・コントラスト」と「フォーカス」を自動で調整し、観察しやすい倍率(100倍)で画像を表示します。

像観察までの流れのイメージ

絶縁物試料でも前処理なしでそのまま観察可能です。

走査電子顕微鏡(SEM)では絶縁物試料を観察する場合、電子が試料表面に蓄積され帯電が発生するため、正常な観察ができなくなります。その場合、金属コーティングなどを施して観察しますが、手間と時間がかかるだけでなく、試料表面が金属に覆われてしまうため、観察後にEDX分析などほかの評価がしにくくなります。
Miniscope®では、絶縁物試料も金属コーティングせずに、そのまま観察できる低真空観察法を採用しています。

フェースパウダーの観察例
観察条件:表面(5 kV), 帯電軽減モード
倍率:3,000倍
試料:フェースパウダー(導電処理なし)

歯ブラシの観察例
観察条件:高輝度(15 kV), 帯電軽減モード
倍率:60倍
試料:歯ブラシ(導電処理なし)

低真空観察法の原理について

低真空観察法の原理イメージ

低真空観察法

試料室内を低真空にし、ガス分子の数を増やすと、電子ビームが試料室内のガス分子と衝突しやすくなります。この衝突の際、ガス分子(G)がイオン化され、+イオン(+)と電子(e)が生成されます。このイオン(+)が試料表面に蓄積した電子(-)と結合して中和し、帯電を軽減することができます。

上位機種にも採用している高感度検出器を搭載

低真空観察でも、シャープで高画質

Miniscope®では上位機種にも採用している高感度検出器を搭載しており、低真空雰囲気下で高画質な画像を撮影することができます。

水素吸蔵合金の観察例
観察条件:通常(15 kV), 帯電軽減モード
倍率:20,000倍
試料:水素吸蔵合金(導電処理なし)

ファンデーションの観察例
観察条件:通常(15 kV), 帯電軽減モード
倍率:5,000倍
試料:ファンデーション(導電処理なし)

反射電子検出器は、高感度4分割半導体検出器を使用しています。
4分割検出器をコントロールすることにより、影付き像、凹凸像も観察できます。目的に応じた多彩な画像で研究や解析をサポートします。

ハンダの観察例

二次電子像(TM3030Plus)

印字した紙の観察例
観察条件:表面(5 kV), 帯電軽減モード
倍率:1,000倍
試料:印字した紙(導電処理なし)

日焼け止め乳液の観察例
観察条件:通常(15 kV)
倍率:4,000倍
試料:日焼け止め乳液(導電処理なし)

二次電子検出器は、上位機種で高評価をいただいている高感度低真空二次電子検出器を使用しており、低真空雰囲気で像質の高い画像を撮影することができます。導電性のない試料も前処理(金属コーティング)なしで二次電子像の観察が可能で、試料表面の微細形状の観察が迅速に行えます。

合成像(TM3030Plus)

反射電子像(組成情報)
セラミックスの反射電子像
観察条件:表面(5 kV)
倍率:1,000倍
試料:セラミックス(導電処理なし)

二次電子像(表面形状)
セラミックスの二次電子像

合成像(組成情報 + 表面形状)
セラミックスの合成像

TM3030Plusでは同一視野の二次電子像と反射電子像を合成して表示できるため、試料表面の微細形状と組成情報を同時に観察でき、より多くの情報を得ることができます。
また反射電子像・二次電子像・合成像はボタンをワンクリックするだけで表示できます。

大口径SDD(30㎜2)を搭載したEDX(オプション)による迅速分析

二次電子像
バリスタ破面の二次電子像
観察条件:通常(15 kV)
倍率:3,000倍
試料:バリスタ破面(導電処理なし)

反射電子像
バリスタ破面の反射電子像

マッピング像
バリスタ破面のマッピング像

EDX(エネルギー分散型X分析装置)には、30 ㎜2の大口径SDD(シリコンドリフト検出器)を搭載し、効率よく迅速に定性分析、元素マッピングが行えます。
金属コーティングなどの前処理を省き、貴重な試料もダメージを抑えながら、観察から分析までシームレスに行えます。


動画紹介

目的別観察例