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Hitachi

卓上顕微鏡 TM3030Plus/TM3030日立ハイテクノロジーズ

Auボンディングワイヤー

Auボンディングワイヤーの観察例

イオンミリングで加工した試料の状態を簡単に確認できます。
イオンミリング装置 IM4000の試料台をそのままTM3030にセットして観察が可能です。
試料は無蒸着です。
表面の形状情報と組成情報を合わせもつ表面モード(5 kV)で、組成差による結晶コントラストが明瞭に見られます。顕微鏡観察において、試料断面の評価は広く使われる方法です。断面を出した試料のチェックを迅速に行えるのがTM3030/3030Plusです。数分で低真空での観察ができるだけでなく、高感度の反射電子検出器を搭載しているため樹脂包埋試料も無蒸着のまま観察ができます。データはイオンミリングをかけたAuボンディングワイヤーです。加速電圧5 kVで反射電子像観察を行うことにより、組成コントラストだけでなく、結晶コントラストも確認できています。また、日立イオンミリング装置 IM4000の試料台をそのままTM3030/3030Plusにセットして観察が可能です。

観察例