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Hitachi

卓上顕微鏡 TM3030Plus/TM3030日立ハイテクノロジーズ

セラミックス

セラミックスの反射電子像の観察例 反射電子像

セラミックスの二次電子像の観察例 二次電子像

セラミックスの合成像の観察例 合成像(反射電子像 + 二次電子像)

TM3030Plusでは、低真空雰囲気下で反射電子像、二次電子像が観察可能です。二次電子像では試料表面の微細形状を観察できます。
反射電子は、試料の組成情報を有しています。TMでは金属コーティングせずに、無蒸着で観察できるからこそ、組成の違いや付着物が明瞭に観察できます。
さらに、TM3030Plusでは同一視野の二次電子像と反射電子像を合成して表示できるため、試料表面の微細形状と組成情報を同時に観察することが可能です。

観察例