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Hitachi

卓上顕微鏡 TM3030Plus/TM3030日立ハイテクノロジーズ

チップLED(Pt蒸着実施)

チップLEDの観察例

チップLED(2)

チップLED表面の樹脂形状を確認するため、3D-VIEWオプションで測定を行いました。段差や傷などの形状を3次元モデルとして分かりやすく確認できます。
測定はSEMが自動で行いますので、測定者は面倒な試料傾斜や視野位置合わせなどを行う必要がありません。
また、3次元モデルだけではなく、簡易的に測長、断面方向の高さ計測、表面積や表面粗さ計測も可能です。

観察例