주사전자현미경 FlexSEM 1000 II
특장
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FlexSEM 1000 II는 새롭게 설계된 전자광학계와 고감도 검출 기술로 높은 관찰 성능과 분석 성능을 실현한 콤팩트 SEM입니다. 공간 절약형 설계로 연구실과 사무실 등 다양한 환경에 유연하게 설치할 수 있으며, 초보자부터 전문 사용자까지 폭넓게 이용할 수 있습니다.
생물 시료부터 첨단 재료까지 다양한 응용 분야에 대응하여 분석 업무의 효율화와 새로운 발견을 지원합니다.콤팩트한 고성능 전자광학계
저수차 대물렌즈를 채용하여 콤팩트한 본체에서도 뛰어난 분해능을 실현합니다. 높은 관찰 성능과 설치성을 양립하여 다양한 분석・평가 요구에 대응합니다.
금 증착입자
가속전압: 20 kV
배율: 60,000배
신호: SE
분해능: 4 nm금 증착입자
가속전압: 20 kV
배율: 50,000배
신호: BSE
분해능: 5 nm뛰어난 저진공 관찰 성능*1
고감도화된 UVD-II를 통해 비도전성 시료나 전처리가 어려운 시료에서도 노이즈를 억제한 고콘트라스트 이미지를 취득할 수 있습니다. 관찰의 자유도를 높여 다양한 응용 분야에 대응합니다.
수지 파단면
가속전압：5.0 kV
배율：150배
신호：UVD-II
여과지
가속전압：5.0 kV
배율：300배
신호：UVD-II*1옵션
자동화 기능으로 신속하고 고품질의 데이터 취득을 실현
직관적이고 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 채용했습니다. 다양한 자동화 기능으로 사용자의 경험이나 숙련도와 관계없이 고품질 이미지를 효율적으로 취득할 수 있습니다. 또한 터치패널 조작도 지원하여 쾌적한 조작 환경을 제공합니다.
SEM MAP를 통한 직관적인 내비게이션
SEM MAP는 시료상의 목적 영역을 빠르게 특정하고, 광학 이미지와 SEM 이미지를 심리스하게 연동합니다. 원클릭으로 관찰 위치로 이동할 수 있어 관찰 효율을 향상시키고 목적 부위에 대한 접근을 용이하게 합니다. 광학・SEM 상관 기능은 GUI에 통합되어 있어 초보자부터 숙련 사용자까지 직관적인 조작이 가능합니다.
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폭 450 mm의 공간 절약형 설계이면서도 높은 관찰 성능을 실현합니다. 본체와 전원 유닛을 분리할 수 있는 유연한 구조로 연구실과 사무실 등 다양한 환경에 손쉽게 설치할 수 있습니다. 또한 일반 전원 콘센트로 운용할 수 있어 도입 시 설비 부담을 줄이면서 원활한 운용을 실현합니다.
FlexSEM 1000 II -
FlexSEM 1000 II는 새롭게 설계된 전자광학계와 고감도 UVD 검출기를 탑재하여 저가속전압 및 저진공 환경에서도 뛰어난 관찰 성능을 발휘합니다. 또한 독자적인 연속 바이어스 기술로 모든 가속전압 조건에서 높은 신호량을 확보하여 시료 표면의 미세 구조를 고콘트라스트로 관찰할 수 있습니다.
전복 껍질
가속전압：8.0 kV
배율：5,000배
팬케이크
가속전압：5.0 kV
배율：1,000배 -
관찰 조건 조정에 드는 시간과 수고를 최소한으로 줄이면서 고품질 이미지 취득을 지원합니다. SEM 사용 경험과 관계없이 고속이면서 안정적인 관찰을 수행할 수 있습니다.
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「SEM MAP」 기능은 관찰 시 시야 탐색과 시료상의 위치 파악을 강력하게 지원합니다. 내장 카메라로 촬영한 이미지를 기반으로 샘플을 내비게이션하여 원클릭으로 관찰 부위로 이동할 수 있습니다.
SEM MAP 상에서 취득한 이미지는 자동으로 붙여넣어져 맵으로 표시됩니다. -
옵션 기능인 [EM Flow Creator]를 사용함으로써, 연속 이미지 취득 등의 작업 자동화를 지원합니다.
배율이나 스테이지 위치 등의 조건 설정, 포커스/콘트라스트 조정 등의 SEM 기능을 블록화하고, 이를 자유롭게 조합함으로써 일련의 관찰 레시피를 생성하여 고객별 맞춤 관찰 레시피를 작성할 수 있습니다.
레시피는 블록을 드래그 앤 드롭하여 흐름 형태로 배치함으로써 생성할 수 있으며, 생성된 레시피를 실행함으로써 자동 관찰이 가능합니다.
애플리케이션 사례
반도체
와이어 본드
진공도:30 Pa
배율:1,000배
신호: BSE, 금속 코팅 없음
진공도:30 Pa
배율:5,000배
신호: BSE, 금속 코팅 없음
재료
이황화텅스텐
FlexSEM 1000 II은 저가속전압에서 높은 에미션(Emission)전류를 얻을 수 있는 신형 바이어스 시스템을 채용하고 있습니다. 저가속 전압으로 동급 최고 선명도(S/N) 의 Image를 취득할 수 있습니다.
배율:10,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음
배율:10,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음
시멘트
배율:15,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음
황동광
진공도:40 Pa
배율:1,000배
신호: BSE, 금속 코팅 없음
생물
나비 날개 단면
배율:40,000배
신호: SE, 금속 코팅 없음
꽃가루
진공도:60 Pa
배율:500배
신호: UVD, 금속 코팅 없음
사양
| 항목 | 내용 | |
|---|---|---|
| 분해능*2 | 4.0 nm (2차전자 Image, 가속전압: 20 kV, 고진공 모드) 15.0 nm (2차전자 Image, 가속전압: 1 kV, 고진공 모드) 5.0 nm (반사전자 Image, 가속전압: 20kV, 저진공 모드) |
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| 가속전압 | 0.3 kV~20 kV | |
| 배율 | ×6~×300,000 (사진배율) ×16~×800,000 (모니터 표시 배율) |
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| 저진공설정 | 6~100 Pa | |
| 전자총 | Precentered Cartridge Filament | |
| 시료 Stage | 3축 모터 Stage X:0~40 mm、Y:0~50 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° 최대 관찰 가능 범위: 64 mm(R병용)*3 |
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| 최대 시료 사이즈 | 직경 80 mm(옵션 : 153 mm) | |
| 최대 시료 높이 | 40 mm | |
| 크기 | 본체:450(폭)×640(깊이)×690(높이) mm 전원박스:450(폭)×640(깊이)×450(높이) mm |
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| 검출기 옵션 |
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*2 본체와 전원 박스 연결 시
*3 표준 홀더를 사용한 경우
* PC, 책상, 모니터는 포함되지 않습니다.
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