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Hitachi

日立高新技术在中国

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000上市

—可获得样品的各种信息,实现高通量分析—

2018年7月31日

株式会社 日立高新技术

 2018年7月31日,日本株式会社日立高新技术公司(TSE:8036,日立高新技术)于7月31日正式推出肖特基场发射扫描电镜SU7000,它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间,真正实现了高通量的观察与分析。


SU7000外观图

 扫描电子显微镜(SEM)可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号,获得从微细结构到组成成分等各种信息,因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大,对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。

 此次推出的SU7000采用全新设计的探测器,使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离(工作距离/以下简称WD),以设置最佳的观察与分析条件,而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统,可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号,缩短了样品观察和分析的时间,提高了测试效率。
而且,SU7000还配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道),进一步升级SEM控制系统,大幅提高了信号获取速度,由此实现了样品的高通量观察。
它还标配超大样品仓,增设了附件接口,可适用于各种样品的观察与分析。

 日立高新技术将在8月5日(星期日)~8月9日(星期四)在美国马里兰州举办的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日(星期三)~9月7日(星期五)在幕张展示中心(千叶县千叶市)举办的“JASIS 2018”上展示这款SU7000,预计每年全球销量有望达150台。

 日立高新技术科学系统事业部以2020年成为电子显微镜行业全球第一为中期战略目标,今后仍将全力推动产品研发与市场推广,努力为全球制造业作出更大的贡献。作为最先进、最前沿的事业创新型企业,今后以成为提供高新技术和解决方案的全球一流企业为目标,始终站在客户的立场,快速满足客户和市场需求。

【主要特点】

  1. 在相同WD的条件下,可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线分析
  2. 最多可同时实现6通道检测与显示
  3. 在最大像素10,240 x 7,680时,也可获得图像数据
  4. 同级别*设备中最多的可配置18个附件接口
  5. 支持最低300Pa的低真空模式(选配)
  • * 空间分辨率在1 nm/1 kV以下

【主要规格】

主要规格
产品名称 SU7000
电子源 ZrO/W热场发射(肖特基热场发射)
二次电子分辨率 0.8 nm(加速电压 15 kV)
0.9 nm(加速电压 1 kV)
加速电压 0.1~30 kV
放大倍率 20~2,000,000倍
束流 最大200 nA
样品台 X/Y/Z : 135 x 100 x 40(mm)

宣传部门地址

关咨询地址
日立高新技术(上海)国际贸易有限公司北京分公司
生命科学系统本部先端分析装置部
TEL:010-65908707
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