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日立高新技术在中国

支持数据驱动开发的两款FE-SEM隆重上市

― 强化自动获取大量数据功能,实现高效率观察 ―

2021年12月9日
日立高新技术公司

场发射扫描电子显微镜 SU8600(左)SU8700(右)
【场发射扫描电子显微镜 SU8600(左)SU8700(右)】

 日立高新技术公司(以下简称日立高新技术)此次推出两款FE-SEM*1“SU8600”和“SU8700”(以下简称此系列产品),这两种型号配置自动获取大量数据的功能。FE-SEM是用于观察、测量和分析样品细微结构的场发射扫描电子显微镜,因此被广泛用于半导体、生命科学和材料研发等领域。未来,数据驱动开发的进步需要庞大的数据支撑,为此,日立高新技术特推出此系列产品,支持短时间内获取大量数据,减轻用户的负担。

  • *1. FE-SEM:Field Emission Scanning Electron Microscope (场发射扫描电子显微镜)

SU8600、SU8700的开发背景

 FE-SEM获得的图像分辨率高,信息丰富,样品处理相对简单,并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构,因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。近年来,以Materials Integration*2为代表,其应用领域及用途在不断扩展,短时间内获取大量数据,减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求,此次特推出SU8600和SU8700,这两种型号是在日立不断改进与沉淀的具有高分辨性能的FE-SEM基础上,进一步优化了自动化功能,以快速获取大量数据。

SU8600、SU8700的特点

 在细微结构分析中,SU8600可以实现低加速电压观察,对高分子等易受电子束照射影响的材料进行高分辨观察。SU8700可配置各种分析附件,适用于从低加速观察到高束流的EBSD*3分析,支持陶瓷、金属等不同材料的解析。
 此系列产品主要具有以下三大特点。

1.支持自动获取数据

 在FE-SEM的观察和分析中,需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度,这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能,可避免人为操作导致的差异。
 此外,随着仪器性能的提升,需要获取的数据种类与数量也在增加,手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”,用户可根据自身需求设定条件,自动获取数据,这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。

2.增加获取信息的种类与数量

 通过SEM能够收集到多种信号,且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。
 此外,为一次性获取大量信息,最大像素扩展到了40,960 x 30,720*5,是当前型号*4的64倍。利用这一功能,可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。

3.增强信号检测能力

 SU8600开发了多个新型选配检测器,加强了对凹凸信息、发光信息的检测能力。此外,还提高了背散射电子信号检测的响应速度。
 SU8700的样品仓设计巧妙,可使用短WD*6进行EDS*7分析,通过提高EDS分析的空间分辨率,能够实现更微小部位的分析。

 日立高新技术将继续提供以此系列产品为核心的创新解决方案,助力客户在先进领域的飞跃成长,未来仍将致力于创造全新的社会与环境价值,为前沿制造业的发展贡献力量。

  • *3. EBSD:Electron Back Scatter Diffraction(电子背散射衍射)。一种用于晶体样品取向分析的方法。
  • *4. 与Regulus系列FE-SEM对比。
  • *5. 选配,可扩展。
  • *6. WD:Working Distance. (工作距离:SEM物镜与样品间的距离)
  • *7. EDS:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy(能谱仪)

关于SU8600、SU8700

关于日立高新技术

 日立高新技术成立于2001年,由日立制作所株式会社 计测器组和半导体制造装置组、以及在先端产业领域较为专业的贸易公司-日制产业株式会社整合而成。
 公司业务面向全球,向客户提供生产与销售医用分析仪器、生命科学产品、分析仪器的“分析解决方案”,生产与销售半导体制造仪器、解析装置的“纳米技术解决方案”,以及在社会和工业基础设施以及移动等领域,提供高附加价值的“工业解决方案”(截至2021年3月,日立高新技术集团的总销售收入为6,063亿日元)。
 详情欢迎浏览日立高新技术官方网站

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