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日立高新技术在中国

环境型原子力显微镜 AFM5300E

AFM5300E是一款环境型原子力显微镜,它的环境控制单元可以使样品在大气中、真空中、溶液中等环境中进行测量。AFM5300E还具有高低温控制功能,可以检测温度对样品表面形貌和物理特性的影响。

特点

1. 环境控制功能(大气,真空,液体,温控等)

AFM5300E能够实现高真空的测试环境,最大限度减小样品表面吸附水对测试的影响,实现精确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。另外,新开发的『温度扫描功能』可监视样品Z方向的热胀冷缩,通过控制反馈信号,使悬臂在变温环境下连续测试样品表面的物理特性。
(专利3857581号、专利3926638号)

●大气中 ●液体中 ●真空中 ●特殊气氛(流量控制)
●温度控制 加热・冷却(-120~300℃) 高温(室温~800℃)
●湿度控制(0~80%)
●外加磁场(水平、垂直、面内旋转、max 5000 Oe )(使用选配项)

2. 简便操作(综合型Holder Flange)

通过采用『综合型Holder Flange开合功能』,样品和扫描器更換更为方便的同时,免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。

3. 卓越的高性能

采用了『Swing Cancel功能』,减轻了样品的浮动,降低了漂移。提高了纳米分析性能,提升了可信度。 漂移量:0.015nm/sec以下

4. 通过减轻表面吸附水的影响,提高了电气性能的检测精度

真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响,因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。

规格

规格
分辨率 原子相
样品尺寸 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度扩展至20 mm)
样品移动范围 X-Y stage 5 mm
扫描范围 标准: 20 µm□/1.5 µmH
• 150 µm□/5 µmH
• 15 µm□/1.5 µmH(闭环差控制)
定位显微镜 • 简易显微镜(×200倍)
• 光学显微镜(×1000倍)
• 变焦显微镜(×700倍)
• 金相显微镜(装有微分干渉)(×2000倍)
检测功能
  • AFM(接触模式)
  • DFM(轻敲模式)
  • PM(相位)
  • FFM(摩擦)
  • MFM(磁力)
  • SIS模式
  • LM-FFM(横向摩擦)
  • VE-AFM/DFM(粘弹性)
  • Adhesion(吸附力)
  • CURRENT(电流)
  • SSRM(扩展抵抗)
  • SNDM(非线性介电常数)
  • PRM(压电响应)、KFM(表面电位)
  • 液体中AFM/DFM
  • EC-AFM/STM
  • NanoIndentation(硬度)
  • Nano-TA(微区加热)
选配件 高温加热样品台
加热冷却兼用样品台
冷却真空
温度控制

应用数据

介绍扫描探针显微镜的应用数据。

说明

解说扫描式隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)等的原理和各种状态原理。

历史和SPM发展

描述我们的扫描探针显微镜和我们的设备的历史和发展。(Global site)