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Hitachi

日立高新技术在中国

扫描电子显微镜 FlexSEM 1000

「先进的SEM设计得更加紧凑」
只有45厘米宽的紧凑型设计,实现了4.0 nm的分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统,使性能大幅提升。

特点

    • 紧凑型设计,分辨率为4 nm*1
    • 通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
    • 操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片
    • 新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野
    • 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2
*1
设置在桌面时,分离主机和电源箱
*2
选配

规格

项目内容
分解能*3 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)
加速电压 0.3 kV ~ 20 kV
放大倍率 6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (显示倍率)
低真空模式 真空范围:6 ~ 100 Pa
电子枪 预对中钨灯丝
样品台 3-轴自动马达台
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°
最大样品尺寸 直径80 mm
最大样品高度 40 mm
尺寸 主机:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供电单元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
探测器选配
  • 高灵敏度低真空二次电子探测器(UVD)
  • 能量分散型X线探测器(EDS)
*3
主机与供电单元组合使用
*
PC、桌子、机械泵、显示器需要本地采购