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Hitachi

日立高新技术在中国

扫描电子显微镜  FlexSEM 1000/FlexSEM 1000 II

“先进的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计,仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。

特点

FlexSEM 1000,凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器,可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面,具有亮度和对焦自动调节功能,可以在短时间内进行各种观察。此外,还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”,这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点,实现最直观的视野移动。

  • 尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜,仍可实现4.0 nm的分辨率
  • 凭借独特的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器(UVD*2),可在低加速/低真空下观察时实现最高的画质
  • 全新的用户界面,无论用户的熟练程度如何,都可实现高画质和高处理能力
  • 全新的定位功能“SEM MAP”,支持观察时的视野搜索和样品定位
  • 大直径(30毫米2)无氮EDS检测器,可快速进行元素分析*2
*1
设置到桌面上时,请将机体与电源盒分离
*2
选项

小型高性能色谱柱

尺寸虽小,却具备同类产品中最高的分辨率。

金颗粒沉积(SE)
金颗粒沉积
加速电压:20 kV
倍率:60,000倍
信号:SE
分辨率:4 nm

金颗粒沉积(BSE)
金颗粒沉积
加速电压:20 kV
倍率:50,000倍
信号:BSE
分辨率:5 nm

高画质

配备可优化放射电流的功能,以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度,而获得噪点小且清晰的图像。

储氢合金(SE)
储氢合金
加速电压:5 kV
倍率:30,000倍
信号:SE、无金属涂层

Al-Ni复合材料(BSE)
Al-Ni复合材料
加速电压:3 kV
倍率:10,000倍
信号:BSE、无金属涂层

可用高画质和快速观察

搭载GUI和自动调节功能,让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦(AFC)、自动亮度调节(ABCC)按钮,就可以获得最佳的图像。(自动调节:与以往相比,缩短时间约13秒*3)当然,也可以通过触屏进行操作。

*3
对比日立SEM SU1510

全新定位系统“SEM MAP”

“SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像,定位样品,一键点击即可移动到观察部位。
在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴,并以分布图的形式显示。

可放置在桌面上的紧凑型电子显微镜

宽幅仅为45厘米,紧凑型设计,最大程度地减小占用空间。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外,机体和电源盒可以分离,从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。


FlexSEM 1000


FlexSEM 1000 II

 

规格

项目内容
 FlexSEM 1000FlexSEM 1000 II
分辨率*3 4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式)
15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式)
5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式)
加速电压 0.3 kV~20 kV
倍率 ×6~×300,000 (照片倍率)
×16~×800,000 (显示器显示倍率)
低真空设置 6~100 Pa
电子枪 集中灯箱(Pre-Centered Cartridge Filament)
样品台 3轴马达驱动样品台
X:0~40 mm、Y:0~50 mm、Z:5~15 mm
T:-15~90°、R:360°
3轴马达驱动样品台
X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm
T:-15~90°、R:360°
最大样品尺寸 直径80 mm
最大样品高度 40 mm
尺寸 机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度) mm
电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm
选项
  • 高敏感度低真空检测器(UVD)
  • 能量色散型X射线检测器(EDS)
  • 高敏感度低真空检测器(UVD2.0)
  • 能量色散型X射线检测器(EDS)
软件 Zigzag(连续视野图像导入功能) Multi Zigzag(连续视野图像导入功能)
*3
机体和电源盒连接时候
*
PC、桌子、监控器由客户准备

观察示例

半导体

焊线

焊线
加速电压:5 kV
真空度:30 Pa
倍率:1,000倍
信号:BSE、无金属涂层

焊线
加速电压:5 kV
真空度:30 Pa
倍率:5,000倍
信号:BSE、无金属涂层

材料

二硫化钨

FlexSEM 1000采用新型偏压系统,可在低加速电压下获得高放射电流。从而,在低加速电压下也能实现同类产品中最高的图像清晰度(S/N)。


加速电压:15 kV
倍率:10,000倍
信号:SE、无金属涂层


加速电压:3 kV
倍率:10,000倍
信号:SE、无金属涂层

水泥


加速电压:3 kV
倍率:15,000倍
信号:SE、无金属涂层

黄铜矿


加速电压:5 kV
真空度:40 Pa
倍率:1,000倍
信号:BSE、无金属涂层

生物

蝴蝶翅膀断面

加速电压:15 kV
加速电压:5 kV
倍率:40,000倍
信号:SE、有金属涂层

花粉

加速电压:3 kV
加速电压:5 kV
真空度:60 Pa
倍率:500倍
信号:UVD、无金属涂层

视频

宽度仅为45厘米的紧凑型电子显微镜,仍具备4.0 nm的图像分辨率!

 

全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能

三维测量软件

Hitachi map 3D(选项)

利用SEM上4分割背散射电子检测器所获得的信号,可计算4个方向的表面形状,从而无需进行样品倾斜和视野对位,即可构建三维模型。
Hitachi map 3D支持多个国家的语言,具备用于调节样品位置的各种校正功能、以及可追溯测量过程的测量系统、符合ISO标准的表面粗糙度(面粗糙度、线粗糙度)的测定、此外还包括表面积、体积等其他测量功能以及报告输出等功能。

详情请浏览“日立高新技术领域”页面。