扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II

“先进的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计，仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。

特点

FlexSEM 1000 II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。

尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型^*1电子显微镜，仍可实现4.0 nm的分辨率
凭借独特的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器（UVD^*2），可在低加速/低真空下观察时实现最高的画质
全新的用户界面，无论用户的熟练程度如何，都可实现高画质和高处理能力
全新的定位功能“SEM MAP”，支持观察时的视野搜索和样品定位

*1 设置到桌面上时，请将机体与电源盒分离

*2 选项

小型高性能色谱柱

尺寸虽小，却具备同类产品中最高的分辨率。

金颗粒沉积（SE） — **金颗粒沉积**
加速电压：20 kV
倍率：60,000倍
信号：SE
**分辨率：4 nm**

金颗粒沉积（BSE） — **金颗粒沉积**
加速电压：20 kV
倍率：50,000倍
信号：BSE
**分辨率：5 nm**

高画质

配备可优化放射电流的功能，以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度，而获得噪点小且清晰的图像。

储氢合金（SE） — **储氢合金**
加速电压：5 kV
倍率：30,000倍
信号：SE、无金属涂层

Al-Ni复合材料（BSE） — **Al-Ni复合材料**
加速电压：3 kV
倍率：10,000倍
信号：BSE、无金属涂层

可用高画质和快速观察

搭载GUI和自动调节功能，让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦（AFC）、自动亮度调节（ABCC）按钮，就可以获得最佳的图像。（自动调节：与以往相比，缩短时间约13秒^*3）当然，也可以通过触屏进行操作。

*3 对比日立SEM SU1510

全新定位系统“SEM MAP”

“SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像，定位样品，一键点击即可移动到观察部位。
在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴，并以分布图的形式显示。

可放置在桌面上的紧凑型电子显微镜

宽幅仅为45厘米，紧凑型设计，最大程度地减小占用空间。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外，机体和电源盒可以分离，从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。

规格

项目	内容
分辨率^*3	4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式）
加速电压	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率）
低真空设置	6～100 Pa
电子枪	预对中钨灯丝电子枪
样品台	3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 最大可观察范围：直径64mm（R联用）^*4
最大样品尺寸	直径80 mm（选配：直径153mm）
最大样品高度	40 mm
尺寸	机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm
选项	高敏感度低真空检测器（UVD2.0）能量色散型X射线检测器（EDS）
软件	Multi Zigzag（连续视野图像导入功能）

* PC、桌子、监控器由客户准备

*3 机体和电源盒连接时候

*4 使用标准支架时

观察示例

半导体材料生物

半导体

焊线

加速电压：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：1,000倍
信号：BSE、无金属涂层

加速电压：5 kV
真空度：30 Pa
倍率：5,000倍
信号：BSE、无金属涂层

材料

二硫化钨

FlexSEM 1000 II采用新型偏压系统，可在低加速电压下获得高放射电流。从而，在低加速电压下也能实现同类产品中最高的图像清晰度（S/N）。

水泥

黄铜矿

加速电压：5 kV
真空度：40 Pa
倍率：1,000倍
信号：BSE、无金属涂层

生物

蝴蝶翅膀断面

加速电压：15 kV — 加速电压：5 kV
倍率：40,000倍
信号：SE、有金属涂层

花粉

加速电压：3 kV — 加速电压：5 kV
真空度：60 Pa
倍率：500倍
信号：UVD、无金属涂层

视频

宽度仅为45厘米的紧凑型电子显微镜，仍具备4.0 nm的图像分辨率！

全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能

三维测量软件

Hitachi map 3D（选项）

利用SEM上4分割背散射电子检测器所获得的信号，可计算4个方向的表面形状，从而无需进行样品倾斜和视野对位，即可构建三维模型。
Hitachi map 3D支持多个国家的语言，具备用于调节样品位置的各种校正功能、以及可追溯测量过程的测量系统、符合ISO标准的表面粗糙度（面粗糙度、线粗糙度）的测定、此外还包括表面积、体积等其他测量功能以及报告输出等功能。

详情请浏览“日立高新技术领域”页面。

Hitachi map 3D