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Hitachi

日立高新技术在中国

透射电子显微镜 H-9500

原子分辨率300 kV透射电子显微镜

在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。
为了满足这种高端需求,日立高新技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能,并采用了最新的数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。

特点

用户友好型的操作系统

  • 和Windows®兼容的图形用户界面设计
  • 快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)
  • 高稳定性,高分辨率透射电子显微镜

高稳定性,高分辨率透射电子显微镜

  • 点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm
  • 稳定可靠的5轴优中心测角台
  • 性能优异,可靠性高

性能优异,可靠性高

  • 得到市场验证的10级加速器电子枪设计
  • 阻抗式高压电缆设计
  • 高档可选附件

高档可选附件

  • 通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用
  • 可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆

备注:FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。

规格

项目说明
分辨率 0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(点分辨率)
加速电压 300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率连续放大模式 1,000~1,500,000×
选区模式 4,000~500,000×
低倍模式 200~500×
电子枪灯丝 LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热)
灯丝交换 自动升降式电子枪
高压电缆 阻抗电缆
照射系统透镜 四级透镜
聚光镜光阑 4孔可变
探针尺寸 微米束模式:0.05 - 0.2 µm(4级)
纳米束模式:1 - 10 nm(4级)
电子束倾斜 ±3°
成像系统透镜 五级透镜
聚焦 图像摇摆调整
利用像散监视器进行正焦补偿
聚焦优化
物镜光阑 4孔可变光阑
选区光阑 4孔可变光阑
电子衍射  选区电子衍射
纳米探针电子衍射
会聚束电子衍射
相机长度 250 - 3,000 mm
样品室样品台 5轴优中心海帕测角台
样品尺寸 3mmΦ
样品位置追踪 X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通过CPU控制马达驱动
样品位置显示 自动驱动,自动跟踪
样品倾斜 α = ±15°, β = ±15°
(日立双倾样品台*2)
防污染 冷阱
烘烤功能 中温烘烤功能
观察室荧光屏 主屏:110 mmΦ
聚焦屏:30 mmΦ
目镜 7.5×
照相室区域选择 整张照相/半张曝光
胶片 25张(2套胶片盒)
图形用户界面  操作系统:Windows XP®
显示器 19英寸显示器
功能 数据库,测量,图像处理
数码CCD 相机*3相机耦合 透镜耦合
有效像素 1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率 12位
真空系统电子枪 离子泵:60 L/s
镜筒 涡轮分子泵:260 L/s
观察室/照相室 扩散泵:280 L/s
前级泵:135 L/min × 3台
*1
:放大倍率校准为可选项
*2
:可选件
*3
:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机

以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺