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日立高新技术在中国

球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700

专用扫描透射显微镜HD-2700,配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。
最近,该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪,进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时,该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置,可以以后加配球差校正进行升级。

特点

高分辨率扫描透射电子显微镜成像

  • HAADF-STEM图像0.136 nm,FFT图像0.105 nm(高分辨率镜头*)
  • HAADF-STEM图像0.144 nm(标准镜头)
  • 明场扫描透射电子显微镜图像0.204 nm(w/o球差校正仪)

高速,高灵敏度能谱分析:探针电流×10倍

  • 元素面分布更迅速及时
  • 低浓度元素检测

操作简化

  • 自动图像对中功能

从样品制备到观察分析实现无缝连接

  • 样品杆与日立聚焦离子束系统兼容

配有各种选购件可执行各种评估和分析操作

  • 同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*图像。
  • 低剂量功能*(使样品的损伤和污染程度降至最低)
  • 高精度放大校准和测量*
  • 实时衍射单元*(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)
  • 采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)*,具有自动倾斜图像获取功能。
  • ELV-3000即时元素面分布系统*(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)
* :
选购件

技术指标

HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜

项目描述
图像分辨率w/o球差校正仪 保证 0.204 nm(当放大倍数为4,000,000时)
w球差校正仪 保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)
保证 0.136 nm(HAADF图像)
保证 0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头*)
放大倍数 100倍 至 10,000,000倍
加速电压 200 kV, 120 kV *
成像信号 明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像)
暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像)
二次电子图像(SE图像)
电子衍射*
特征X射线分析和面分布(能谱分析)*
电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)*
电子光学系统电子源 肖特基发射电子源
冷场致发射器*
照明透镜系统 2-段聚光镜镜头
球差校正仪* 六极镜头设计
扫描线圈 2-段式电磁感应线圈
原子序数衬度收集角控制 投影镜设计
电磁图像位移 ±1 µm
试片镜台样品移动 X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
样品倾斜 单轴-倾斜样品杆:±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头*)
真空系统  3个离子泵,1个TMP
极限真空 10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)
图像显示个人电脑/操作系统 PC/AT兼容, Windows® XP
监视器 19-inch液晶显示器面板
图像帧尺寸 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
扫描速度 快扫,慢扫(0.5至320秒/帧)
自动数据显示 记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间
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选购件