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日立高新技术在中国

扫描电子显微镜 S-3700N

扫描电子显微镜(SEM)现今已经延伸到广大企业单位,不仅在学术研究领域,各行各业均有广泛应用,与此趋势相对应,用户需要观测和分析的样品种类也有所扩大。S-3700N的开发正是完全考虑了上述广泛的多元化应用的需求,此款产品的标准配置包含一个二次电子检测器,一个五段分割背散射电子(BSE)探测器和可变压力(VP)模式。
这就使得绝大部分的样品观测,可以去除过去传统的扫描电镜必须的金属喷涂,可在自然状态下直接观察含水样品。
S-3700N有一个巨大的样品室,可容纳直径达300 mm和高度达110 mm的样品。样品室设置有多种配件端口,可以适应电镜在当今极其广泛的应用需求,这些配件包EDX,WDX,EBSD,样品室监视装置,冷台等。此款产品的多功能性以及灵活的系统配置,能够很好地满足您现今以及未来的各项需求。

特点

  • 特大型的样品室可装载最大直径达300 mm的样品,还可同时安装EDX/WDX/EBSD等配件。其可载样品高度可达110 mm。
  • 5轴马达驱动优中心倾斜、旋转、图像导航系统、样品台追踪、轨迹存储与中心复位等样品台的马达控制功能一应俱全。
  • S-4800,SU-70及S-3400N均具有用户友好的GUI设计,这使得操作者经过简单培训即可操作。
  • 显示系统有全屏显示,无闪烁,高像素和实时图像显示等优异的性能,它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。
  • 可变压模式不需要金属喷涂,可以直接观察不导电样品。
  • 高灵敏度半导体背散射电子检测器可以在快速扫描模式下运行,这使得寻找大尺寸样品中感兴趣的区域更为简单和便利。
  • 标准配备涡轮分子泵(TMP),其清洁和干燥的真空条件最大限度地减少了样品污染。区别于传统的扩散泵扫描电子显微镜,此款产品不需较大的加热功率或循环水箱,从而使得它成为一款节能,生态环保的扫描电子显微镜。

规格

项目描述
分辨率二次电子分辨率 30 kV时,3.0 nm(高真空模式)
3 kV时,10 nm(高真空模式)
背散射电子分辨率 30 kV时,4.0 nm(低真空模式)
放大倍率 ×5 - ×300,000
加速电压 0.3 - 30 kV
低真空范围 6 – 270 Pa 图形菜单
图像移动 ±50 µm (WD= 10 mm)
最大样品尺寸 Φ300 mm
样品台X 150 mm
Y 110 mm
Z 5 - 65 mm
R 360°
T -20° - 90°
观测区域 Φ203 mm(可旋转)
最大高度 110 mm (WD= 10 mm)
样品台控制 计算机控制5轴马达驱动优中心
电子光学电子枪 预对中钨灯丝
物镜光阑 可移动式4孔物镜光阑
枪偏压 带可控4偏压
检测器 埃弗哈特 索恩利二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子探测器,五分割
分析位置 WD = 10 mm, 取出角 = 35°
显示器控制模式 操纵杆,键盘和旋钮
显示器 19.1英寸液晶平面显示器(如有更改,恕不另行通知)
自动合轴 自动设定束流,自动合轴
自动图像调整 自动聚焦,自动消象散/聚焦,自动调整亮度和对比度
存储图像精度 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素
2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素
图像文件格式 BMP, TIFF, JPEG
图像显示模式 全屏显示:1,280 × 960 像素
小屏显示:640 × 480 像素
双屏显示:640 × 480 像素 × 2
信号混合模式
真空系统操作 全自动程序
涡轮分子泵 210L/sec. × 1
机械泵 135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1
安全措施 断电保护,漏电保护
辅助功能 光栅旋转,动态消像散
动态聚焦/倾斜补偿功能
自由排版打印功能,字母/数字功能
三维动画维修指南
导航,测量方便,倾斜画面