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Hitachi

日立高新技术在中国

热场式场发射扫描电镜 SU5000

操作高效便捷

创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到完美的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。

特点

高性能电子光学系统

  • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
  • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像
  • 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异

  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
  • 开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
  • 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
*:
选配附件

规格

项目内容
分辨率 1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
电子光学系统电子枪 ZrO /W 肖特基式电子枪
加速电压 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
着陆电压 减速模式: 0.1 - 2.0 kV *1
最大束流 > 200 nA
探测器 低位二次电子探测器
低真空模式*2 真空范围: 10 - 300 Pa
马达台马达台控制 5 - 轴自动 (优中心)
可动范围 X:0~100mm
Y:0~50mm
Z:3~65mm
T:-20~90°
R:360°
最大样品尺寸 最大直径: 200 mm
最大高度: 80 mm
选配探测器
  • 高分辨率顶位二次电子探测器*1
  • 高灵敏度低真空探测器 (UVD)
  • 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3
  • 能谱仪 (EDS)
  • 波谱仪 (WDS)
  • 背散射电子衍射探测器 (EBSD)
*1:
减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
*2:
低真空功能(包含5分割半导体探测器)
*3:
空压机(本地采购)

应用实例


样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像


样品: PTFE
加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下获得高质量图像