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Hitachi

日立高新技术在中国

超高分辨率分析扫描电子显微镜 SU-70

SU-70电子显微镜是一种新概念扫描电子显微镜,它采用了日立经过实地验证的 "semi-in-lens"超高分辨率技术以及肖特基热场发射电子枪技术。除了具有超高分辨率(1.0 nm/15 kV,1.6 nm*/1 kV)的特点外,它还借助声名远播的SuperExB功能可观察减轻荷电图像,成分构成对比图像,超低加速电压图像*。肖特基场发射电子枪的探针电流为100 nA,可进行各种各样的分析操作(X 射线能谱仪*, X射线波谱仪*,电子背散射衍射系统*等)。

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