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超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列

超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列

随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。

* 设备照片包含选配项。

特点

超高分辨成像

日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下,也可获得超高分辨的图像。

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0.8 kV电压条件下观察RHO型沸石的实例。左图为颗粒整体的形貌,右图为放大图像,颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤和获取表面形状信息较为有效。

样品提供:日本工业技术综合研究所 上村 佳大 先生

高衬度的低加速电压背散射图像

3D NAND截面观察;
在低加速电压条件下,背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。

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3D NAND截面观察(加速电压:1.5kV)

快速BSE图像:新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探测器,即使扫描时间不到1秒,也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.

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5纳米制程SRAM的内部结构观察 (加速电压:30kV,扫描时间<1秒)

先进的自动化功能*

EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。

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灵活的用户界面

原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。

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1,2,4 或6通道信号可在同一个显示器上同时显示,可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间,可定制的用户界面以提高工作效率。

规格

机型 SU8600 系列
电子光学系统 二次电子像分辨率 0.6 nm@15 kV
0.7 nm@1 kV *
放大倍率 20 to 2,000,000 x
电子枪 冷场发射电子源,支持柔性闪烁功能,包含阳极烘烤系统。
加速电压 0.5 to 30 kV
着陆电压 * 0.01 to 20 kV
探测器 (部分为选配项) 上探测器(UD)
UD ExB能量过滤器,包含SE/BSE信号混合功能
下探测器(LD)
顶探测器(TD)
TD能量过滤器
镜筒内背散射电子探测器(IMD)
半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED)
新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD)
阴极荧光探测器(CLD)
扫描透射探测器(STEM Detector)
附件 (部分为选配项) 导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD)
软件 (部分为选配项) EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素)
样品台 马达驱动轴 5轴马达驱动(X/Y/R/Z/T)
马达驱动轴 X:0~110 mm
Y:0~110 mm
Z:1.5~40 mm
T:-5~70°
R:360°
样品室 样品尺寸 最大直径:150 mm

* 减速模式下

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