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Hitachi

日立高新技术在中国

台式显微镜  TM4000/TM4000Plus

台式SEM进入新纪元。

画质更加清晰,操作更加便捷,观看更加直观。TM4000系列搭载最新技术,可满足“更好”的观察需求。
台式SEM应用范围更广,助力您的事业发展。

特点

操作直观,支持使用目标数据制作报告等一系列作业

为满足客户的"想要不进行样品前处理,直接启动设备,快速且简单获取目标样品数据"需求,TM4000系列进行了全面改进。
可观察最大直径为80 mm,厚度为50 mm的样品。设备内置光学相机 (选配),可轻松寻找目标样品。
从装样到获取图像仅需3分钟左右,优化了原来的形状观察、元素分析到报告制作的工作流程。

Camera Navi (选配)

支持光学图像中寻找目标样品和MAP功能下观察样品

Report Creater

仅需选择图像和模板即可完成Word®、Excel®、Powerpoint®格式的报告。

 

全新设计的电子光学系统实现了高画质图像

样品: 水泥 5 kV UVD
样品:水泥 5 kV UVD

环保型SEM采用无油真空系统,任何地方均可安装

采用无油泵和无需做对中的预对中灯丝

规格

项目TM4000PlusTM4000
放大倍率 ×10~×100,000 (底片倍率)
×25~×250,000 (显示器倍率)
加速电压 5 kV、10 kV、15 kV
图像信号 背散射电子
二次电子
合成 (背散射电子+二次电子)
背散射电子
真空模式 导电体 (仅限背散射电子)
标准
减轻荷电
标准
减轻荷电
图像模式(背散射电子) 标准(BSE)、阴影像1、阴影像2、凹凸形貌像
样品移动范围 X: 40 mm Y: 35 mm
最大样品尺寸 80 mm(直径) 50 mm(厚度)
电子枪 预对中型
钨灯丝
探测器 背散射电子: 高灵敏度4分割背散射电子探测器
二次电子: 高灵敏度低真空二次电子探测器
背散射电子: 高灵敏度4分割背散射电子探测器
图像自动调整功能 自动启动、自动聚焦、自动亮度调整
图像存储像素 2,560×1,920 像素、1,280×960 像素、640×480 像素
图像格式 BMP、TIFF、JPEG
数据显示 标尺、微尺值、放大倍率、日期、时间、图像No.WD、注释、加速电压、真空模式、图像模式、图像信号
真空系统(真空泵) 涡轮分子泵: 67 L/s 1台
隔膜泵: 20 L/min
操作辅助功能 电子束旋转、预设倍率(3级)
电子束偏转(±50 µm @ WD6.0 mm)
安全功能 带过电流保护功能、内置漏电断路器
尺寸&重量 主机: 330(长)×614(宽)×547(高) mm、52 kg(motor drive stage)
主机: 330(长)×617(宽)×547(高) mm、52 kg(manual stage)
隔膜泵: 144(长)×270(宽)×216(高) mm

观察示例

对于一个样品,评价方式更加多样。
通过切换电子束条件 (加速电压) 和检测信号,可获得您所需要的图像。

观察示例

加速电压

TM4000系列可将样品的加速电压设定为5 kV、10 kV、15 kV进行观察。
调整加速电压时所获得的图像情况如下。

加速电压

选购附件

能量色散X射线光谱仪 TM4000/TM4000Series

TM系列专用能谱仪(EDS) Quantax75

(Manufactured for Hitachi High-Technologies corporation by Bruker Nano GmbH)

TM系列专用能谱仪(EDS) AZtec系列

(Manufactured for Hitachi High-Technologies Corporation by Oxford Instruments Analytical Ltd.)