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Hitachi

日立高新技术在中国

台式显微镜 TM4000II/TM4000PlusII

台式扫描电子显微镜(SEM)全新升级。

我们以“更高画质、更易于使用、更易于观察”为理念,开发出TM4000系列。在此基础上,我们又推出功能更为多样的TM4000Ⅱ系列。
为您提供全新的观察和分析应用。

特点

观察图像3分钟。可迅速获得所需数据,并制作报告。

观察与分析的灵活性

自动获取各类数据。快速切换!

可快速获得元素分布图*2

*1
TM4000PlusⅡ的功能。
*2
选配

使用Camera Navi*的话,就是如此简单

Camera Navi图像让您轻松找到视野,分布图(MAP)功能全程支持您的观察

*
选配:Camera Navi系统

Report Creator可让您轻松制作报告

只需选择图像和模板,就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的报告

即便是绝缘物样品,也无需预处理,就可直接进行观察。

“静电减轻模式”可抑制静电现象

对于容易产生静电的样品,可使用“静电减轻模式”,在抑制静电的状态下进行观察。
只需用鼠标在软件上点击即可切换到“静电减轻模式”。

可在低真空的条件下进行多种观察

对于容易产生静电的粉末或含水等样品,可结合其目的进行观察。

可在低真空的条件下进行二次电子像(表面形状)观察。

无需预处理,也可以观察绝缘物和含水、含油样品的表面

不仅是观察传统的导电性样品,还可以在无预处理的条件下观察绝缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。

高感度低真空二次电子检测器
采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光,可以观察带有二次电子信息的图像。此外,通过控制该检测器,来检测电子照射所产生的光,可以获得CL信息(UVD-CL:带有CL信息的图像)。


高感度低真空二次电子检测器的检测原理

可支持加速电压20 kV

TM4000Ⅱ/TM4000Plus II可支持加速电压20 kV。
凭借EDS分析(选配),可进行更高计数率解析。

通过加速电压20 kV,实现EDS元素分布图的高S/N化

Multi Zigzag(选配)

可实现在广域范围内进行SEM观察。
搭配自动马达台,可实现低倍率,高精度,大范围的观察分析。

规格

项目TM4000PlusIITM4000II
倍率 ×10~×100,000(照片倍率)
×25~×250,000(显示器倍率)
加速电压 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
图像信号 背散射电子
二次电子
复合图像(背散射电子+二次电子)
背散射电子
真空模式 导电体(仅背散射电子)
标准
静电减轻
标准
静电减轻
样品可移动范围 X:40 mm Y:35 mm
最大样品尺寸: 80 mm(直径) 50 mm(厚度)
电子枪 集中灯箱(Pre-Centered Catridge Filament)
检测器 背散射电子:高感度4分割 背散电子检测器
二次电子:高感度低真空 二次电子检测器
背散射电子:高感度4分割 背散射电子检测器
排气系统
(真空泵)
涡轮分子泵:67 L/s 1台
隔膜泵:20 L/min
尺寸与重量 主体:330(宽度)×614(进深)×547(高度) mm、54 kg(附带马达驱动的样品台)
主体:330(宽度)×617(进深)×547(高度) mm、54 kg(附带手动样品台)
隔膜泵:144(宽度)×270(进深)×216(高度) mm