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纳米尺度3D光学干涉测量系统(CSI)

VS1800

纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800

纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象,对微细的表面形貌进行测量,可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。