日立高新拥有自主研发的“真空转移系统”，用于观察分析极容易与大气产生反应的高活性锂离子电池的细微构造。块状样品搭载在专用样品台上可在隔绝空气的状态下，进行离子研磨和SEM观察。搭载在专用样品台上还可以用FIB-SEM加工成薄膜；转移到真空转移样品杆上，用S（TEM）进行观察和分析。真空转移系统，可使样品在不接触大气的条件下，进行多尺度的观察。
超高分辨场发射扫描电子显微镜
这是一种研究及开发用于锂离子二次电池的碳材料及高分子材料时必不可少的超高分辨扫描电子显微镜。应用高辉度冷场FE电子枪及检测信号控制功能，以高分辨率模式提供高对比度图像。
搭载支持光学系统自动调整功能及自动获取数据能力的选配功能，可实现自动获取大量数据。
使用自动获取SEM图像的软件EM Flow Creator，对隔膜进行了自动连续成像。
这次用了3小时36分钟按5千倍、3万倍、8万倍的倍率改变视场，每次分别获取5张共计345张清晰的SEM图像。放大5千倍时可以确认到隔膜的纤维状区域的分布，放大3万倍时能看到隔膜的纤维状结构与小孔交互排列的形态，放大8万倍时能看到隔膜表面的细微结构。
超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜
这是一种研究及开发用于锂离子二次电池的碳材料及高分子材料时必不可少的超高分辨扫描电子显微镜。由于搭载了肖特基FE电子枪，可支持超低加速电压观察乃至需要大照射电流的高速分析等广泛的分析方法。
搭载支持光学系统自动调整功能及自动获取数据能力的选配功能，可实现自动获取大量数据。
这是按10V的照射电压观察到的LIB正极材料的SEM图像。在（a）中可根据形状及对比度，清晰地分辨出活性物质、导电助剂及粘合剂。在放大观察（a）内红框区域的（b）中，可以详细确认到导电助剂与活性物质经粘合剂黏结的形态、活性物质表面上薄层附着的粘合剂残渣。 SU8700采用了静电场和静磁场叠加的物镜，使用此显微镜还能够轻松地进行这种超低加速模式的最表面观察。
离子研磨仪
Arblade 5000是拥有截面研磨和平面研磨功能的日立高新高端的研磨仪。它配备了为评判锂离子电池的正极、负极材料等进行制样所需的所有的功能。真空转移样品台（选配）是为了极易和大气中的氧气和水发生反应而变形的锂离子电池材料研发的。使用该样品台，可使样品在不接触大气的情况下，离子研磨加工后直接进行SEM的观察。配备了冷冻加工功能（选配），来应对锂离子电池材料容易因离子束轰击而受到的热损失）。
采用真空转移截面研磨功能加工的锂离子电池负极材料的SEM图像（a）、以及为确认真空转移效果而将加工后的样品在大气中暴露约15分钟后的SEM图像（b）。（a）可以看到石墨颗粒的结构，而（b）因为与大气中的水分及氧气接触而被反应析出物所覆盖。由此可以明确真空转移研磨样品台的效果。
SEM和AFM联动分析
日立高新特别开发的技术(SAEMic.)实现了SEM和AFM的关联使用。可对同一个样品同一部位进行SEM（扫描电子显微镜）观察分析，可以测试形貌、组成、元素；AFM（原子力显微镜）观察分析，可测出3D形貌和力学信息，电磁物性信息，二者可以交替进行。
〈表面分析〉原子力显微镜（AFM）
AFM5500M是通过纳米级探针扫描试料表面，能高分辨率地观察三维形貌的扫描探针显微镜。除了形状，还可测绘试料的粘性、弹性、吸附性等的力学物理性质、表面电位或导电性等的电磁物理特性的差异。
LIB高性能化的课题之一是降低内阻。在此针对改变了冲压条件的两种LIB正极，说明一下对离子研磨截面的同一处进行SSRM及SEM-EDX检测的结果。LIB高性能化的课题之一是降低内阻。在此针对改变了冲压条件的两种LIB正极，说明一下对离子研磨截面的同一处进行SSRM及SEM-EDX检测的结果。
这次的样品根据交流阻抗法也能显示冲压产品的内阻比较低，可以考虑也支持1)局部观察及分析的SSRM/SEM-EDX结果。
1) H. Nara et al., Journal of power sources, 409 (2019) 139–147.
实时3D解析的FIB-SEM复合装置
NX9000的SEM镜筒与FIB镜筒互成直角，形成三维结构分析最理想的镜筒布局。通过反复高精度加工/观察，可以捕捉到样品细微结构的三维图像。电极等各个小颗粒的分布等也可以进行立体的解析。
采样的微小样品片的标准尺寸为10μm（长）x 3μm（宽）x 10μm（高）。在高真空的FIB-SEM的样品仓内同时进行FIB切割和SEM观察。
可插入FIB-SEM中使用的薄膜样品专用真空转移样品杆，通过滑动样品杆前端的密封圈，使样品保持在惰性气体或者真空环境中。另有配有液氮进行冷却的样品杆，减少样品加工时热损伤。
