全自动扫描探针显微镜AFM5500MⅡ搭载宽范围平板扫描器，降低了机械原因造成的测量误差。自动探针更换等自动化功能有助于提升品质管理，进而提高检测效率。
单独使用AFM5500MⅡ检测，可以得到形状和物性测量结果，再利用与SEM/CSI等其他显微镜的共享坐标样品台功能，可以实现高精度的故障分析和缺陷评估。
此外，由于新增了AFM标记功能，即便是难以确定测量位置的样品，也能利用多台设备轻松测量其同一位置。