高性能FIB-SEM系统搭载了世界顶级的高亮度冷场发射电子枪和新研发的电磁复合透镜。将加工样品的FIB镜筒与高倍率观察的SEM镜筒配置在同一个样品仓中，可在高倍率下分析样品表面和样品内部的特定部位的细微结构和成分。