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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

回収対象装置:加速電圧200、300kVの日立透過電子顕微鏡

概要

透過電子顕微鏡の電子銃部で高電圧絶縁用に使用されている六フッ化硫黄(以下SF6ガス)は、優れた電気絶縁性能を有します。しかし、SF6ガスは地球温暖化の原因となる温室効果ガスの一つに指定されており、CO2ガスの約22,800倍相当の温室効果を持つとされています。地球温暖化防止のため、温室効果ガスの放出削減が求められている中、当社では、電子銃メンテナンス時や装置廃棄時に発生する使用済みのSF6ガスを効率よく回収し、分解リサイクル処理*1を行っています。

*1
回収したSF6ガスは提携業者にて分解し、フッ素製品の原料に戻す処理を行うことで、循環型のリサイクル環境構築に取り組んでいます。

SF6ガス回収・分解処理サービスの流れ

技術的特長

  • 従来、FEチップ交換のたびに、100リットルのSF6ガス(CO2換算:14.05t)を大気放出していましたが本回収装置により、その99%が回収可能となります。
  • 当社技術者による一貫した作業の中で、安全に回収することができます。

概念図

温室効果ガスによる地球温暖化メカニズム

温室効果ガスによる地球温暖化メカニズム
出典:栃木県ホームページ 地球環境の保全に貢献する社会づくり
http://www.pref.tochigi.lg.jp/kankyoseisaku/home/keikaku/archive/hakusyo/h15gaiyou/31.html
(参照 参照 2017/6/30)

主な温室効果ガス

主な温室効果ガス
温室効果ガス 地球温暖化係数*2 性質 用途、排出源
二酸化炭素(CO2 1 代表的な温室効果ガス 化石燃料の燃焼など。
メタン(CH4 25 天然ガスの主成分で、常温で気体。よく燃える。 稲作、家畜の腸内発酵、廃棄物の埋め立てなど。
一酸化二窒素(N2O) 298 数ある窒素酸化物の中で最も安定した物質。他の窒素酸化物(例えば二酸化窒素)などのような害はない。 燃料の燃焼、工業プロセスなど。
HFCS(ハイドロフルオロカーボン類) 1,430など 塩素がなく、オゾン層を破壊しないフロン。強力な温室効果ガス。 スプレー、エアコンや冷蔵庫などの冷媒、化学物質の製造プロセスなど。
PFCs(パーフルオロカーボン類) 7,390など 炭素とフッ素だけからなるフロン。強力な温室効果ガス。 半導体の製造プロセスなど。
SF6(六フッ化硫黄) 22,800 硫黄の六フッ化物。強力な温室効果ガス。 電気の絶縁体など。
NF3(三フッ化窒素) 17,200 窒素とフッ素だけからなる無機化合物。強力な温室効果ガス。 半導体の製造プロセスなど。
  • 出典:JCCCA."温室効果ガスの特徴"全国地球温暖化防止活動推進センターホームページ
    http://www.jccca.org/chart/chart01_02.html(参照:2017/6/30)
*2
地球温暖化係数とは、温室効果ガスそれぞれの温室効果の程度を示す値です。ガスそれぞれの寿命の長さが異なることから、温室効果を見積もる期間の長さによってこの係数は変化します。
ここでの数値は、京都議定書第二約束期間における値になります。