白色光源から照射された光を2つに分け、一方をサンプル表面に照射し、双方から反射された光を結像します。 試料凹凸によって生じる干渉縞を高さ情報に変換し、3次元形状を画像表示する装置です。
取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング
商品コード | 商品名 |
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K-W14500003 | 二光束干渉対物レンズ2.5XTI |
K-W14500007 | 二光束干渉対物レンズ5XTI |
K-W14500005 | 二光束干渉対物レンズ10XDI |
K-W14500006 | 二光束干渉対物レンズ20XDI |
K-W14500008 | 二光束干渉対物レンズ50XDI |
K-W14500009 | 二光束干渉対物レンズ110XDI |
低倍率の対物レンズを使用することで視野が広がり、対象物全体を1ショットで計測可能になります。
装置構成によりますが、1ショットの最大は7 mm×5 mmとなります。
高倍率の対物レンズを使用することにより、光学分解能が向上し、サンプル表面の細かな凸凹を測定可能になります。
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