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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

イオンスパッタ MC1000

マグネトロン電極の採用で試料をマイルドコーティング

価格: 1,510,000円(本体)~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長

  • LCDタッチパネルにより指先ひとつで電流・時間などの条件設定が可能
  • 設定した条件の保存・読み出しが可能なレシピ機能を標準装備
  • オプション装着により厚い試料や大型の試料に対応可能

仕様

項目内容
放電方式 ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形)
電極形状 対向平行円板(マグネット埋込み)
電圧 最高電圧DC 0.4 kV(位相制御にて可変)
電流 最大電流DC 40 mA(設定範囲:5~40 mA)
コーティングレート
(参考値*1)最大値:
<条件>
真空度:7 Pa
放電電流:40 mA
試料間距離:20 mm
Ptターゲット 15 nm/min
Pt-Pdターゲット 20 nm/min
Auターゲット 35 nm/min
Au-Pdターゲット 25 nm/min
コーティング時間 5~300秒
試料サイズ最大試料径 φ60 mm
最大試料高さ 20 mm
排気ポンプ ロータリーポンプ 135/162 L/min(50/60 Hz)
ターゲット(Φ63 mm)(別売品) Pt、Pt-Pd(8:2)、Au、Au-Pd(6:4)
所要電源 単相AC 100 V(±10%) 15 A(50/60 Hz)
外形寸法(本体)
オプション非装着時
450 mm
奥行 391 mm
高さ 390 mm
質量 本体:約 25 kg、ロータリーポンプ:約 28 kg
カーボンコーティングユニット:約 26 kg
*1
: コーティングレートは参考値であり、条件によって変わります。

標準内訳

項目内容
本体 1
ロータリーポンプ 1
標準付属品 1式
取扱説明書 1

設置条件

項目内容
室温 15~25℃
湿度 45~85%以下(結露しないこと)
電源 単相AC100V(±10%)、50/60Hz、1.5kVA
D種接地、接地抵抗100Ω以下付専用開閉器
(漏電検知器(中感度遅延形付)が配置された3Pコンセント)

お客様準備品

項目内容
Arガス圧力 0.03~0.05 Mpa
Arガス導入配管*2 1/4インチSUS配管(1/4スウェージロック対応)、レギュレータ
酸素濃度計*3 酸素濃度19%以上が確認できるもの
推奨テーブル 550(W)×550(D)×700(H)(mm)以上、耐荷重 80kg以上
*2
: Arガス供給設備(Arガスボンベ)と装置間をつなぐ配管です。
供給設備(Arガスボンベ)用の調圧器と合わせてご準備ください
*3
: アルゴンガスは窒息性がありますので、設置場所には酸素濃度計および換気設備をご準備ください

特別付属品(オプション)

項目内容
膜厚温調機能*4 膜厚設定範囲:1~30 nm
温度設定範囲:室温~(室温-25)℃ 、安定度±1℃ 以内
大型チャンバー*5 最大搭載サイズ:φ150 mm、最大試料高さ:20 mm
45 mm スペーサー*6 最大試料サイズ:φ60 mm、最大試料高さ:45 mm
カーボンコーティングユニット 蒸着源:カーボンロッド焼き切り
*4
: 水晶発振子による質量膜厚です。後付け不可。大型チャンバー非対応。
*5
: 後付け不可
*6
: 標準チャンバー専用

ご相談・お問い合わせ先

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