マグネトロン電極の採用で試料をマイルドコーティング
価格： 1,510,000円（本体）～
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 放電 | 方式 | ダイオード放電マグネトロン形（電場・磁場直交形） |
| 電極形状 | 対向平行円板（マグネット埋込み） | |
| 電圧 | 最高電圧DC 0.4 kV（位相制御にて可変） | |
| 電流 | 最大電流DC 40 mA（設定範囲：5～40 mA） | |
| コーティングレート （参考値*1）最大値： ＜条件＞ 真空度：7 Pa 放電電流：40 mA 試料間距離：20 mm |
Ptターゲット 15 nm/min Pt-Pdターゲット 20 nm/min Auターゲット 35 nm/min Au-Pdターゲット 25 nm/min |
|
| コーティング時間 | 5～300秒 | |
| 試料サイズ | 最大試料径 | φ60 mm |
| 最大試料高さ | 20 mm | |
| 排気ポンプ | ロータリーポンプ 135/162 L/min（50/60 Hz） | |
| ターゲット（Φ63 mm）（別売品） | Pt、Pt-Pd（8：2）、Au、Au-Pd（6：4） | |
| 所要電源 | 単相AC 100 V（±10％） 15 A（50/60 Hz） | |
| 外形寸法（本体） オプション非装着時 | 幅 | 450 mm |
| 奥行 | 391 mm | |
| 高さ | 391 mm | |
| 質量 | 本体：約 22 kg、ロータリーポンプ：約 30 kg カーボンコーティングユニット：約 26 kg |
|
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 本体 | 1 |
| ロータリーポンプ | 1 |
| 標準付属品 | 1式 |
| 取扱説明書 | 1 |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 室温 | 15～30℃ |
| 湿度 | 45～85％以下（結露しないこと） |
| 電源 | 単相AC100V（±10％）、50/60Hz、1.5kVA D種接地、接地抵抗100Ω以下付専用開閉器 （漏電検知器（中感度遅延形付）が配置された3Pコンセント（コード長3 m）） |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| Arガス圧力 | 0.03～0.05 Mpa |
| Arガス導入配管*2 | 1/4インチSUS配管（1/4スウェージロック対応2 m以内）、レギュレータ |
| 酸素濃度計*3 | 酸素濃度19％以上が確認できるもの |
| 推奨テーブル | 550（W）×550（D）×700（H）（mm）以上、設置テーブルの強度が機器の質量に耐えること |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 膜厚温調機能*4 | 膜厚設定範囲：1～30 nm 温度設定範囲：室温～（室温-25）℃ 、安定度±1℃ 以内 |
| 大型チャンバー*5 | 最大搭載サイズ：φ150 mm、最大試料高さ：20 mm |
| 45 mm スペーサー*6 | 最大試料サイズ：φ60 mm、最大試料高さ：45 mm |
| カーボンコーティングユニット | 蒸着源：カーボンロッド焼き切り |
検索
Japan