GATAN 精密イオンポリッシング装置 MODEL 695PIPSⅡ

最小限の労力で質の高いTEMサンプルを作製する目的でデザインされた“ユーザーフレンドリー”な精密イオン研磨機です。
新開発のイオンガンにより、より効果的な低加速イオンミリングが可能となりました。

価格：お問い合わせください

（製造元：Gatan, Inc.）

取扱会社：株式会社日立ハイテクフィールディング

特長

項目		内容
イオンソース	イオンガン	小型希土類磁石付ペニングイオンガン2基
	ミリング角度	+10°～-10°(0.1°ステップ)、ガンは個別に調整可能
	イオンビームエネルギー	0.1～8.0keV
	イオン電流密度	10mA/cm²ピーク
	ビームアライメント	蛍光スクリーンを用いる
試料ステージ	サンプルサイズ	3mmか2.3mm
	装置	DuoPost（標準）もしくはグラファイト製ホルダー（オプション）
	回転	1～6rpm
	ビームモジュレーション	シングルもしくはダブルのセクター（クロスセクション用）
	観察	双眼顕微鏡 CCD TVカメラシステム×2000（オプション）
真空系	ドライポンプシステム	ダイアフラムポンプ（背圧）/分子ドラッグポンプ
	圧力	5E-6 Tor（ガン-off時）、8E-5 Tor（ガン-on時）
	真空ゲージ	冷陰極型（メインチャンバー）、ソリッドステート真空計
	試料エアロック	Gatan Wisperlok、試料交換時間＜ 30s
寸法/ ユーティリティ	寸法	495mm（幅）×575mm（奥）×615mm（高）
	重量	45kg
	消費電力	使用時200W、ガン未使用時100W
	電力	単相100VAC、50/60Hz
	ガス	アルゴン25psi（1.72bar）純度99.998%以上　冷却水不要

製品・サービスについてのご相談・お問い合わせは、サポート情報をご覧ください。