最小限の労力で質の高いTEMサンプルを作製する目的でデザインされた“ユーザーフレンドリー”な精密イオン研磨機です。
新開発のイオンガンにより、より効果的な低加速イオンミリングが可能となりました。
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(製造元:Gatan, Inc.)
取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング
項目 | 内容 | |
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イオンソース | イオンガン | 小型希土類磁石付ペニングイオンガン2基 |
ミリング角度 | +10°~-10°(0.1°ステップ)、ガンは個別に調整可能 | |
イオンビームエネルギー | 0.1~8.0keV | |
イオン電流密度 | 10mA/cm2ピーク | |
ビームアライメント | 蛍光スクリーンを用いる | |
試料ステージ | サンプルサイズ | 3mmか2.3mm |
装置 | DuoPost(標準)もしくはグラファイト製ホルダー(オプション) | |
回転 | 1~6rpm | |
ビームモジュレーション | シングルもしくはダブルのセクター(クロスセクション用) | |
観察 | 双眼顕微鏡 CCD TVカメラシステム×2000(オプション) |
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真空系 | ドライポンプシステム | ダイアフラムポンプ(背圧)/分子ドラッグポンプ |
圧力 | 5E-6 Tor(ガン-off時)、8E-5 Tor(ガン-on時) | |
真空ゲージ | 冷陰極型(メインチャンバー)、ソリッドステート真空計 | |
試料エアロック | Gatan Wisperlok、試料交換時間 < 30s | |
寸法/ ユーティリティ |
寸法 | 495mm(幅)×575mm(奥)×615mm(高) |
重量 | 45kg | |
消費電力 | 使用時200W、ガン未使用時100W | |
電力 | 単相100VAC、50/60Hz | |
ガス | アルゴン25psi(1.72bar) 純度99.998%以上 冷却水不要 |