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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

半導体評価装置　予防保全対応

半導体評価装置　予防保全対応

電子光学系、排気系、ステージ系、ローダー系、ミニエン搬送システム系など、お客様のニーズに合わせた保守メニューを豊富に取り揃えています。

取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング

対象装置

  • 日立高分解能FEB測長装置
    S-8820、S-8840、S-8C40、S-9200、S-9220、S-9260、S-9260A、CS4800、
    S-9300、S-9360、S-9380、S-9380Ⅱ、CG4000、CG4100、CG4500、CG5000、CG6300
  • 日立高加速CD-SEM
    CV5000
  • 日立高速欠陥レビューSEM
    RS-3000、RS-4000、RS-5000、RS-5500、RS6000、CR6300
  • 日立半導体プロセス評価SEM
    S-7800、S-7800H、S-7840
  • 日立ウェーハ表面検査装置
    LS6600、LS6700、LS6800、LS7800、LS9110、LS9200、LS9300、LS9300A
  • 日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置
    IS2500、IS2600、IS2700、IS3000、IS3200 、IS4100、DI4200
  • 日立マスク基板検査装置
    GM-1000、GM-1000A

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