エッチング装置の安定稼動には、予防保全（オーバーホール）が必要です。
処理工程上 反応性生成物（デポ物）による汚れが多く発生し、稼動時間とともにエッチング室内，排気ラインを主に装置内へ堆積が進行していきます。
反応性生成物の堆積は、異物増加をはじめ 真空リーク，プロセス性能の低下など さまざまなトラブルの要因となります。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
| フルサービス | 簡易サービス | 備考 | |
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| 定期点検 | 3ヵ月点検、6ヵ月点検および1年点検 | 6ヵ月点検、1年点検 | |
| オーバーホール | ご使用期間、ご使用頻度などによりメニューの中から選択 | 別途 | 使用来歴、保守来歴により最適メニュー推奨 |
| オンコール | 含む | 別途 | 2回/月（最大） |
| 交換部品供給 | 定期点検、オーバーホールのメニューに含む部品 | 簡易定期点検のメニューに含む部品 | 左記以外は個別精算 |
| コンサルティングなど | 技術コンサルティング、現地運転教育、技術情報の提供 | 技術情報の提供 |
| 3ヵ月点検 | 6ヵ月点検 | 1年点検 | |
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作業内容 |
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