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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

チラー（Chiller）

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造装置のほかにさまざまな種類の産業機器、計測機器、食品加工機器、理化学機器等に用いられます。

取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長と実績

  • 冷媒は、オゾン層を破壊しないR-407C（HFC系）を採用しています。
  • 故障時、メンテナンス時にはバックアップチラー切り替えにより、24時間365日の運転が可能です。
  • 下記は仕様例です。
  • カスタマイズに対応いたしますので、お気軽にご相談ください。
項目内容
使用温度範囲 +10～+25 [℃]
温度精度 <±0.05 [℃]
冷凍能力 28/30 [kW]　（50/60Hz）
循環流量 110～240 [L/min]

ご相談・お問い合わせ先

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