ページの本文へ

日立ハイテク
  1. Home
  2. サポート情報
  3. 半導体製造装置
  4. 周辺装置:日立ハイテク
  5. チラー(Chiller)

チラー(Chiller)

-

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造装置のほかにさまざまな種類の産業機器、計測機器、食品加工機器、理化学機器等に用いられます。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長と実績

  • 冷媒は、オゾン層を破壊しないR-407C(HFC系)を採用しています。
  • 故障時、メンテナンス時にはバックアップチラー切り替えにより、24時間365日の運転が可能です。
  • 下記は仕様例です。
  • カスタマイズに対応いたしますので、お気軽にご相談ください。
項目内容
使用温度範囲 +10~+25 [℃]
温度精度 <±0.05 [℃]
冷凍能力 28/30 [kW] (50/60Hz)
循環流量 110~240 [L/min]

ご相談・お問い合わせ先

関連リンク

お問い合わせ