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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

手順

  1. 洗浄済の処理袋内にウェーハと不純物を抽出・溶解する液を入れ、密封処理をします。
  2. 1.の処理袋を加熱して、ウェーハ上(膜中)の不純物を液中に抽出・溶解します。
  3. 2.の液を、金属不純物はICPMSやZAAで測定、イオン性不純物はICGで測定します。

この分析法は、処理袋と抽出・溶解液の選択により、複数の成分を測定することができます。

ウェーハ不純物の袋抽出法

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