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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

昇温脱ガス装置(TDS)とGCMSを組み合わせた方法です。

手順

  1. ウェーハをTDS装置で昇温し、ウェーハからの脱ガスをTENAX吸着管などで捕集します。
  2. 1.のTENAX吸着管を、P&T-GCMSで測定します。

TDSは800℃まで昇温できるため、ウェーハ表面の成分だけでなく膜中からの脱ガス成分まで分析することができます。

TDS-GCMS法

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