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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

手順

  1. 専用揮発試験容器、石英容器内に材料を入れ、容器全体を加熱しガスを流します。
  2. 材料から揮発した不純物を、目的に応じてインピンジャーまたは吸着管で捕集します。
  3. 2.の液を、インピンジャーの場合はICP-MS(イオン性はイオンクロマトグラフ)で測定し、吸着管の場合はP&T付GC-MSで測定します。

アウトガス分析法

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