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Hitachi

日立ハイテクファインシステムズ

人と社会を支える技術を追求しつづける

日立ハイテクファインシステムズは、これまで培ったコア技術(光学応用技術、画像処理技術、電子回路技術、自動制御技術、プロセス技術、精密機構技術)をベースに新たな分野へ領域拡大していくとともに、日立製作所の各研究所や日立グループ会社と連携し、積極的にチャレンジし続け、人と社会を支える技術を追求して参ります。

高精度露光技術

高精度露光技術

  • 大型ステージの高精度位置決め技術
  • 画像処理技術
  • 高精度ギャップコントロール技術

自動制御技術

自動制御技術

  • 高精度圧着技術
  • 高精度スライダー機構応用技術
  • 高速高精度位置決め技術

電子回路技術

電子回路技術

  • 低ノイズ、高周波広帯域増幅回路技術
  • 画像処理技術
  • 信号スペクトラム解析技術
  • 高速パターンジェネレータ回路技術

光学応用技術

光学応用技術

  • 暗視野レーザ散乱光異物検出技術
  • ナイフエッジ方式高さ測定技術
  • レーザ光ヘテロダイン干渉応用技術