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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

蛍光X線分析装置 EA6000VX

基板全面に渡る有害物質の管理や、特定部位に絞った微小部の測定など、従来の装置では対応が困難な要求もEA6000VXでは可能になりました。

価格 ¥14,600,000~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクサイエンス

特長

1. 高速マッピング

最大15万cpsの高計数率検出器による高感度測定と、最大250 mm×200 mmエリアをマッピング可能な高速ステージにより、高速マッピング測定が可能です。100 mm×100 mmエリアでは、実装基板の端子に含まれる鉛を2~3分で検出し、部位を特定可能です。

2. 連続多点測定

最大500点の位置を指定することができ、オートサンプラのように連続多点測定を行うことが可能です。大量の試料を測定するときも、絶大なスループットを発揮します。

3. 高精密な重ね合わせ

テレセントリックレンズ系と高速・高精度XYステージにより、元素マッピング像と光学象との重ね合わせも高精度で行えるため微小部品の中のどの部分に着目元素があるかも容易に一目で分かります。最大250 mm×200 mmのどの位置も真上からの観察像になっており、広域からの位置指定のずれも100 µm以内と高精度です。

4. 微小部測定

FTシリーズで定評があるめっきの膜厚測定にも、EA6000VXは対応しています。極薄Auめっきなどの膜厚測定はもちろん、めっき中に含まれるPbなどの有害物質分析を膜厚測定と同時に 行うことも可能です。たとえばPbフリーはんだめっきやリードフレームのSnめっき、無電解Niめっき中に含まれる有害物質の濃度測定が可能です。

5. 環境規制物質の高感度測定でRoHS等に対応

樹脂、金属等に含有する微量な環境規制物質を短時間で測定できます。複数の材料が組み合わさった試料でも特定の部位を絞って測定ができます。

6. 軽元素対応

Heパージオプション装着により、Naからの軽元素の分析が可能です。測定している間だけHeをパージする独自の安定したシステムでランニングコストも低減しています。

7. シースルーマッピング機能

ノートPCや携帯電話など、外装部品により内部の構造がわからない製品について、分解せずに内部の基板上のPbをはじめ、様々な元素のマッピング像を得ることができます。X線を透過させて得られる元素のマッピング像を比較することにより、内部の部品や構造について、様々な情報を得ることが可能です。

8. 異物検出 EA6000VX

EA6000VXは高速マッピング機能により広域エリア(最大250 mm × 200 mm)に含有する数十µmの微小な金属異物を数分で検出し、含有部位を特定できます。樹脂などの有機物であれば内部に含有している微小、微量金属異物も検出できます。

9. 安全・安心こだわりの操作性

オートアプローチ、衝突防止機能 ステージに試料をセットしてスタートすると自動で試料の最大高さを検出して測定に最適な高さに移動します。オペレータは複雑な形状の試料でも容易に測定が可能です。またマニュアルで高さ調整する場合でも衝突防止センサーがあるため、試料を傷つけることがありません。

仕様

測定元素 原子番号Na(11)~U(92)
※Heパージオプション
試料形状 液体・粉体・固体
線源 小型空冷式X線管球(Rh or Wターゲット)
管電圧50(可変)kV
管電流20~1000µA
X線照射向き 上面垂直照射型
検出器 Vortex(SDD検出器) ※液化窒素不要
分析領域 0.2, 0.5, 1.2, 3.0 mmφ(自動切替え)
試料観察 高解像度CCDカメラ 2系統
フィルタ 6モード電動切り替え
最大試料サイズ 250(W)×200(D)×150(H) mm
装置寸法 750(W)×740(D)×783(H) mm ※電送BOX別置き
重量 160 kg
電源/消費電力 AC100~240V(50/60Hz)/400VA
サンプルチェンジャ 連続多点測定機能

オプション

  • ヘリウムパージ
  • ジョイスティックコントローラー
  • シグナルタワー
  • デュアルモニター
  • 測定ヘッド専用台
  • サンプル設置治具
  • サンプル設置フィルム
  • 環境規制用標準物質
  • プリンタ
  • 環境規制物質測定ソフトウェア Ver.1

EA6000VXの特長と測定事例

部品を分解しない状態での特定部位に絞った微小部の測定や、基板全面に渡る有害物質の管理など、従来の装置では対応が困難な要求も高速マッピング機能搭載のEA6000VXでは可能になりました。

アプリケーションデータ

蛍光X線分析の分析事例を紹介します。ID登録されていない方は新規登録が必要です。

原理解説

蛍光X線分析の原理と応用例をご紹介しております。

蛍光X線分析装置6つの特長

環境指令への対応をサポートする専用装置の特徴をご紹介します。

コラム

蛍光X線分析の技術をコラムにまとめています。

参考文献・発表リスト

蛍光X線分析についての参考文献・発表をまとめています。

環境規制

環境規制と日立ハイテクサイエンスの製品・サービス

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