蛍光X線分析装置 EA6000VX

最大15万cpsの高計数率検出器による高感度測定と、最大250 mm×200 mmエリアをマッピング可能な高速ステージにより、高速マッピング測定が可能です。100 mm×100 mmエリアでは、実装基板の端子に含まれる鉛を2～3分で検出し、部位を特定可能です。

最大500点の位置を指定することができ、オートサンプラのように連続多点測定を行うことが可能です。大量の試料を測定するときも、絶大なスループットを発揮します。

Heパージオプション装着により、Naからの軽元素の分析が可能です。測定している間だけHeをパージする独自の安定したシステムでランニングコストも低減しています。

ノートPCや携帯電話など、外装部品により内部の構造がわからない製品について、分解せずに内部の基板上のPbをはじめ、様々な元素のマッピング像を得ることができます。X線を透過させて得られる元素のマッピング像を比較することにより、内部の部品や構造について、様々な情報を得ることが可能です。

EA6000VXは高速マッピング機能により広域エリア（最大250 mm × 200 mm）に含有する数十µmの微小な金属異物を数分で検出し、含有部位を特定できます。樹脂などの有機物であれば内部に含有している微小、微量金属異物も検出できます。

オートアプローチ、衝突防止機能 ステージに試料をセットしてスタートすると自動で試料の最大高さを検出して測定に最適な高さに移動します。オペレータは複雑な形状の試料でも容易に測定が可能です。またマニュアルで高さ調整する場合でも衝突防止センサーがあるため、試料を傷つけることがありません。