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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

新開発のX線集光用ポリキャピラリを搭載のラインアップも新たに加えました。またX線検出機構を中心とした各要素の最適化により検出感度を大きく高め、精度を損なうことなく高スループットでの測定を実現。さらに、試料室へのアクセスや測定箇所の確認が容易となるよう装置デザインを一新しています。

上面照射 ズーム 高精度ステージ LF 薄膜FP 集光 H-I照明 微小領域


価格
FT150/FT150h:¥17,500,000~
FT150L:¥20,000,000~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクサイエンス

特長

1.新開発X線ビームによる微細領域の高精度測定

新開発のポリキャピラリの採用や検出部の最適化などにより、従来のFT9500Xと同等の30μm照射径(=FWHM17μm)*を実現しながら、スループットは2倍以上に高めています。

*
Mnkα線に対して

2.測定試料サイズに対応したラインアップ

  • 微小コネクタやリードフレームなど各種電子部品などの微小部、極薄膜測定用モデル
  • 600mm×600mmサイズの大型プリント基板にも対応した大型試料対応用モデル
  • チップ部品電極部などのSn/Ni二層同時測定などに適したモデル

3.操作性と安全性の両立

大開口部ながらも片手で軽く開け閉め可能なX線漏えいリスクが少ない安心の密閉構造を実現しています。

4.測定箇所視認性

大型観察窓と部品配置の見直しにより、試料扉を閉めた状態でも測定箇所の視認を容易に行えます。

5.高精細カメラによる明瞭な試料画像

従来の試料観察カメラよりさらに高解像度のカメラを搭載し、フルデジタルズームにより位置ズレなく、数十μmの微小部試料がクリアに観察できます。
また、試料観察用のランプもLEDを使用し、従来機種では必要であったランプ交換が不要となりました。

6.新GUI

  • さまざまな測定方法・測定試料をアプリアイコンとして登録。アイコンは測定試料の写真、多層膜のイラストなどでわかりやすく登録・整理できるため、迷うことなく測定に入れます。
  • 測定ナビウインドウで操作をガイド。測定画面と連動して、現在するべき作業内容が逐一案内されます。

左から、ランチャー画面・操作性の高い開口部・大開口試料扉・高感度化(Auスペクトルイメージ)

 

仕様

仕様
タイプFT150(標準機)FT150h(高エネルギータイプ)FT150L(大型プリント基板対応)
測定元素 原子番号13(Al)~92(U)
X線管 管電圧:45kV
Moターゲット Wターゲット Moターゲット
検出器 Si半導体検出器(SDD)(液化窒素不要)
X線集光 ポリキャピラリ方式
試料観察 CCDカメラ(100万画素)
焦点合わせ レーザーフォーカス、オートフォーカス
最大試料サイズ 400(W) × 300(D) × 100(H)mm 400(W) × 300(D) × 100(H)mm 600(W) × 600(D) × 20(H)mm
ステージストローク 400(W) × 300(D)mm 400(W) × 300(D)mm 300(W) × 300(D)mm
操作部 パソコン、22インチ液晶モニタ
測定ソフト 薄膜FP法(最大五層膜、10元素)、検量線法、定性分析
データ処理 Microsoft Excel搭載、Microsoft Word搭載
安全機能 試料扉インターロック
消費電力 300VA以下

オプション

  • スペクトルマッチングソフト(材料判別)
  • バルクFP(金属成分比測定)
  • ステージ動作制限設定
  • ウェーハホルダ(FT150/FT150h)
  • タッチパネルモニタ
  • シグナルタワー
  • プリンター
  • 非常停止スイッチボックス

 

高性能蛍光X線膜厚計 FT150シリーズ

FT150は、ポリキャピラリを用いた照射径30µmの高輝度X線ビームにより、リードフレームや微小コネクタ、フレキシブル基板等の微小極薄膜の高精度分析評価に最適な装置です。

高性能蛍光X線膜厚計 FT150シリーズ

アプリケーションデータ

膜厚測定装置の測定例を紹介します。

高性能蛍光X線膜厚計 FT150シリーズ

FT150シリーズの概要や測定例をご紹介します。

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